Padronização física de ressonadores supercondutores de nióbio de alto Q por meio de gravação com feixe de íons

Título	Padronização física de ressonadores supercondutores de nióbio de alto Q por meio de gravação com feixe de íons
Autores	Miguel Manzo-Perez, Moeid Jamalzadeh, Man Nguyen, Christopher Nadeau, Alexander Madden, Iliya Shiravand, Kim Kisslinger, Xiao Tong, Kasra Sardashti, Michael Senatore, Matthew LaHaye, Davood Shahrjerdi
Revista	Cartas de Física Aplicada
data	09/02/2025
Doi	10.1063/5.0278956
Introdução	A fabricação de circuitos quânticos supercondutores está envolvendo cada vez mais materiais quimicamente diversos e estruturas multicamadas complexas. Para avançar nesses desenvolvimentos, são cruciais as técnicas de modelagem de baixo dano e agnósticas em relação aos materiais, compatíveis com uma ampla gama de materiais. Este estudo examina a gravação com feixe de íons de baixa energia (IBE) como uma alternativa viável à gravação com íons reativos para a produção de ressonadores supercondutores de baixa perda, usando ressonadores de nióbio como referência. Para atenuar a redeposição de superfície induzida pelo IBE, foi introduzida uma camada de cobertura de alumínio in situ com tratamento químico direcionado. Essa abordagem produz ressonadores com fatores de qualidade interna que atingem 6 × 105 no regime de fóton único a 50 mK, destacando a IBE como uma técnica promissora para a fabricação de dispositivos supercondutores em diversas plataformas de materiais.
Citação	Miguel Manzo-Perez, Moeid Jamalzadeh e Man Nguyen et al. Physical patterning of high-Q superconducting niobium resonators via ion beam etching. Applied Physics Letters. 2025. Vol. 127(9). DOI: 10.1063/5.0278956
Elemento	Nióbio (Nb)
Materiais	Metais e ligas , Supercondutores