Furadeira Compacta Controlada Atmosfera RTP 1100C OTF-1200X-4-RTP Descrição
Furadeira Compacta Controlada Atmosfera RTP 1100C é um forno tubular de processamento térmico rápido compacto equipado com um tubo de processamento de quartzo de 4" de diâmetro interno e flanges de vácuo. Projetado especificamente para o recocimento de wafers semicondutores ou células solares com diâmetros de até 3", este forno oferece capacidades de processamento térmico precisas.
Aquecido por 8 unidades de lâmpadas halógenas de 1 kW, o OTF-1200X-RTP-4 possui uma taxa máxima de aquecimento de 50°C/segundo. Um controlador de temperatura de precisão de 50 segmentos com uma precisão de +/-1°C está integrado ao forno, permitindo controle preciso sobre aquecimento, permanência e resfriamento em várias etapas do processo.
Especificações da Furadeira Compacta Controlada Atmosfera RTP 1100C OTF-1200X-4-RTP
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Características
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- Capinha de aço de dupla camada com resfriamento a ar mantém a temperatura da superfície do forno abaixo de 60°C.
- Isolamento em fibra de alumina de alta pureza para máxima economia de energia.
- Cobertura dividida com proteção de interlock, corta a energia se a tampa for aberta durante o processo de aquecimento do forno.
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Temperatura de Trabalho
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- Temperatura máxima de aquecimento:
1100℃ (< 10 min)
1000℃, (<20 min)
800℃, (<120 min)
- Temperatura de operação contínua: ≤600℃
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Parâmetros Básicos
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- Elemento de aquecimento: Termopar Tipo K
- Taxa de fluxo de água circulante: 0,5 m3/h
- Intervalo de medição de fluxo padrão: 16-160 ml/min
- Manômetro digital de vácuo: 10-4 a 1000 torr
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Potência
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208-240V AC, 12 KW, 50/60 Hz
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Controle de Temperatura
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- Controlador de temperatura FA-YD808P-AG incluído.
- Controle proporcional-integral-derivativo (controle PID) e função de autoteste
- 50 segmentos programados com rampas, resfriamento e etapas de permanência
- Alarme de sobretemperatura e alarme de falha do termopar integrados
- Precisão de controle de temperatura +/- 1 ºC
- Porta de comunicação padrão DB9 para PC
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Tubo de Quartzo & Suporte de Amostra
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- Tamanho do Tubo de Quartzo: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 16.2" de Comprimento.
- Um suporte de amostra AlN de 3" de diâmetro para recocimento de amostras de até 3" de diâmetro incluído.
(O AlN possui uma alta condutividade térmica que proporciona a melhor uniformidade de temperatura na área da amostra. O suporte de amostra é removível do flange, permitindo usar o forno RTP para outros fins.)
- Opcional: Substrato de Grafite de 3'' O.D (uma alternativa à placa AIN)
- Opcional: Crisol de Grafite (87 mm OD x 71 mm ID x 12 mm Altura com tampa) projetado para suporte de amostra de 3"
(O crisol também pode ser modificado para um forno RTE, CSS ou HPCVD com um crisol de grafite revestido com SiC.
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Dimensões Gerais
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- Flange (quando fechada): 1350 L * 330 W * 590 H mm
- Flange (quando aberta): 1350 L * 520 W * 740 H mm
- Tamanho do forno: φ180*190mm
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Peso Líquido
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70 kg
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Garantia
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- Garantia limitada de um ano com suporte vitalício.
- ATENÇÃO: Qualquer dano causado pelo uso de gases corrosivos e ácidos não está coberto pela Garantia Limitada de um Ano da SAM.
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Certificado
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- Certificado CE
- Certificação NRTL ou CSA disponível a custo adicional.
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Aplicações da Furadeira Compacta Controlada Atmosfera RTP 1100C OTF-1200X-4-RTP
- Fabricação de Semicondutores: Utilizada para a fabricação de dispositivos semicondutores, como wafers de silício, MEMS (Sistemas Microeletromecânicos) e células fotovoltaicas. Fornos verticais são utilizados para processos como oxidação, difusão, LPCVD (Deposição Química de Vapor a Baixa Pressão) e recocimento.
- Deposição de Filmes Finos: Utilizada para a deposição de filmes finos em substratos utilizando técnicas como CVD (Deposição Química de Vapor), PVD (Deposição em Vapor Físico) e ALD (Deposição de Camada Atômica). Fornos verticais proporcionam um ambiente controlado para controle preciso da espessura e composição do filme.
- Produção de Células Solares: Aplicada na fabricação de células solares e módulos fotovoltaicos. Fornos verticais são utilizados para processos como difusão, deposição de revestimento anti-reflexão e metalização para aumentar a eficiência e o desempenho das células solares.
Embalagem da Furadeira Compacta Controlada Atmosfera RTP 1100C OTF-1200X-4-RTP
Nossa Furadeira Compacta Controlada Atmosfera RTP 1100C OTF-1200X-4-RTP é cuidadosamente manuseada durante o armazenamento e transporte para preservar a qualidade de nosso produto em sua condição original.
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