Descontinuado IF5726 (Descontinuado) 950C CSS e Forno RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

Características

• Câmara de vácuo de 20 polegadas ID construída em aço inoxidável, que alcança um nível de vácuo de até 10^-5 torr usando uma bomba de vácuo turbo.
• Dupla placa de aquecimento infravermelho (IR) de 12 polegadas estrategicamente posicionada na câmara para otimizar a distribuição de calor.
• Controlador de temperatura de precisão Eurotherm que assegura precisão de temperatura dentro de ±0,1°C.
• Um computador com tela sensível ao toque que permite controle abrangente sobre todos os parâmetros de processamento.

Parâmetros Básicos

• Temp. Máx. de Aquecimento: 950℃
• Diferença Máx. de Temperatura entre os dois aquecedores: ≤ 300℃
• Taxa Máx. de Aquecimento: 8℃/s
• Taxa Máx. de Resfriamento: <20℃/s

Poder

208 - 240VAC, três fases, 50/60 Hz

60kw

Câmara de Vácuo

• Dimensão da câmara: ID 500mm x H 460mm
• Dois janelas de quartzo de 60mm de diâmetro são incorporadas para fácil observação.
• Uma baffle deslizante hermética está integrada para bloquear a fonte de evaporação sob alto vácuo
• Um manômetro digital de vácuo anti-corrosão de precisão vem padrão com a unidade, garantindo medições de vácuo precisas.
• Bomba de Vácuo Opcional: 10-5 torr por bomba turbo ou 10-2 torr por uma bomba mecânica

Aquecedor e Suporte de Amostra

• Dois aquecedores IR estão localizados na parte superior e inferior da câmara com gaps ajustáveis de 2 - 25 mm.
• Aquecedores feitos de aço inoxidável com um jaqueta fria de água para isolamento térmico.
• O suporte de wafer circular de 12 " de diâmetro está incorporado no aquecedor superior para segurar o substrato.
• As placas de grafite são colocadas sobre o aquecedor IR para tornar o aquecimento mais uniforme.
• O suporte de amostra superior é rotativo a uma velocidade ajustável de 1 - 10 RPM
• Um resfriador de água circulante de 58L/min é incluído para resfriar os aquecedores

Sistema de Controle

• Dois controladores de temperatura digitais Eurotherm 3000 com 24 segmentos programáveis oferecem controle independente dos aquecedores superior e inferior com precisão de +/- 0,1ºC
• Todas as operações, como perfis de temperatura, pressão de vácuo, velocidade de rotação e elevação do flange são controladas por um computador com tela sensível ao toque via PLC.
• O computador pode mostrar os perfis de temperatura e vácuo e iniciar 10 programas pré-definidos de processamento

Peso Líquido

~500 kg

Dimensão

L 1450 X W 1250 X H 2100 mm

Garantia

• Uma garantia limitada de um ano com suporte durante toda a vida útil. 
• ATENÇÃO: Danos causados pelo uso de gases corrosivos e ácidos não estão cobertos pela Garantia Limitada de Um Ano da SAM.

Certificado

• Certificado CE
• Certificação NRTL ou CSA disponível a um custo adicional.