Descontinuado IF5727 (Descontinuado) Forno CSS e RTP RTP-II-5-R

Características

• Câmara de vácuo ID de 20 polegadas construída em aço inoxidável, que atinge um nível de vácuo de até 10^-5 torr usando uma bomba turbina.
• Dupla placas calefatoras infravermelhas (IR) de 12 polegadas posicionadas estrategicamente dentro da câmara para otimizar a distribuição de calor.
• Um controlador de temperatura de precisão Eurotherm que garante precisão de temperatura dentro de ±0,1°C.
• Um computador de tela sensível ao toque que permite controle abrangente sobre todos os parâmetros de processamento.

Parâmetros Básicos

• Temperatura máxima de aquecimento: 950℃
• Diferença máxima de Temperatura entre os dois aquecedores: ≤ 300℃
• Taxa máxima de aquecimento: 8℃/s
• Taxa máxima de resfriamento: <20℃/s

Potência

208 - 240VAC, três fases, 50/60 Hz

60kw

Câmara de Vácuo

• Dimensão da câmara: ID 500mm x A 460mm
• Dois janelas de quartzo de 60mm de diâmetro são incorporadas para fácil observação.
• Uma baffle deslizante à prova de ar é incorporada para bloquear a fonte de evaporação sob alto vácuo.
• Um manômetro digital de vácuo de precisão anticorrosão vem padrão com a unidade, garantindo medições precisas de vácuo.
• Bomba de Vácuo opcional: 10-5 torr por bomba turbina ou 10-2 torr por uma bomba mecânica.

Aquecedor e Suporte de Amostra

• Dois aquecedores IR estão localizados na parte superior e inferior da câmara com folgas ajustáveis de 2 a 25 mm.
• Aquecedores são feitos de aço inoxidável com um casaco frio de água para manter a isolação térmica.
• Suporte circular de wafer de 12" de diâmetro está embutido no aquecedor superior para segurar o substrato.
• Placas de grafite são colocadas sobre o aquecedor IR para tornar o aquecimento mais uniforme.
• O suporte de amostra superior é rotativo a uma velocidade ajustável de 1 a 10 RPM.
• Um resfriador de água de 58L/min está incluído para resfriamento dos aquecedores.

Sistema de Controle

• Dois controladores de temperatura digitais Eurotherm 3000 com 24 segmentos programáveis oferecem controle independente dos aquecedores superior e inferior com precisão de +/- 0,1ºC.
• Todas as operações, como perfis de temperatura, pressão de vácuo, velocidade de rotação e levantamento da flanja são controladas por um computador de tela sensível ao toque via PLC.
• O computador pode mostrar os perfis de temperatura e vácuo e iniciar 10 programas predefinidos de processamento.

Peso Líquido

~500 kg

Dimensão

L 1450 x W 1250 x A 2100 mm

Garantia

• Uma garantia limitada de um ano com suporte vitalício.
• ATENÇÃO: Quaisquer danos causados pelo uso de gases corrosivos e ácidos não estão cobertos pela Garantia Limitada de Um Ano da SAM.

Certificado

• Certificado CE
• Certificação NRTL ou CSA disponível a custo extra.