Forno Tubular Deslizante 1200C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-5S Descrição
Forno Tubular Deslizante 1200C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-5S é um forno deslizante versátil de 5 polegadas equipado com aquecimento por resistência e um motor deslizante elétrico para aquecimento e resfriamento rápidos. Ele alcança taxas máximas de aquecimento e resfriamento de 2°C e 4°C por segundo, respectivamente, e é capaz de recobrir wafers de até 4 polegadas de diâmetro em temperaturas de até 1200°C. A unidade é envolvida em uma capa de aço de dupla camada com resfriamento a ar para garantir que a temperatura da carcaça do forno permaneça em ou abaixo de 60°C.
Especificações do Forno Tubular Deslizante 1200C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-5S
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Estrutura do Forno
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- Capa de Aço de Dupla Camada com Resfriamento a Ar: ≤60℃
- Unidade de Controle de Temperatura Separada para Operação Remota
- Zona de Aquecimento Extensa
- Trilhos Deslizantes Dinâmicos: que permitem que o forno se mova horizontalmente de um lado para o outro
- Recobrimento de wafer com até 4" de diâmetro máximo com barco de quartzo
- Tubo de quartzo: tubo de quartzo de 5" (130mm O.D x 120mm I.D x 1100mmL) incluído com flanges herméticas
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Poder
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3KW, 208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Temperatura de Trabalho
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- Temp. Máx: 1200℃ (<30min); 1100℃ contínua
- Taxa de Aquecimento: ≤20℃/min
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Controle Deslizante
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- Trilhos deslizantes duplos feitos de aço niquelado
- Comprimento do trilho deslizante: 1200 m
- Faixa de Deslizamento: 450mm
- Opcional: deslizamento automático é acionado por motor DC, controlado pelo controlador de temperatura. Quando o programa de aquecimento é concluído, o forno desliza da direita para a esquerda à velocidade definida. Ventiladores de ar sopraram nas áreas aquecidas para alcançar resfriamento rápido.
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Controlador de Temperatura
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- Dois controladores automáticos PID com 30 segmentos programáveis para controle da taxa de aquecimento e resfriamento, e tempo de permanência.
- Proteção embutida contra superaquecimento e quebra de termopar.
- Precisão de temperatura de +/- 1℃.
- Porta de Comunicação RS485.
- Controle por PC
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Controlador de Vácuo
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Limitado por uma bomba de vácuo
- 10^-2 torr pode ser alcançado por uma bomba mecânica
- 10^-5 torr pode ser alcançado por uma bomba molecular
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Peso Líquido
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110kg
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Dimensões
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1300x 550 x 600 mm (forno fechado)
1300x 750 x 850 mm (forno aberto)
350x 250 x 410 mm (caixa de controle)
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Garantia
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- Forno de tubos com tubos de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0.12 MPa
- Atenção: Um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para operação segura.
- Pressões de vácuo podem ser usadas com segurança apenas até 1000°C
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Certificado
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- Certificado CE
- Certificação NRTL ou CSA disponível a custo adicional.
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Aplicações do Forno Tubular Deslizante 1200C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-5S
- Processamento de Semicondutores: Um dos principais usos dos fornos RTP é na indústria de semicondutores, onde são utilizados para recobrimento de wafers de semicondutores.
- Síntese de Materiais e Experimentação: Esses fornos são ideais para a síntese de novos materiais, incluindo metais, cerâmicas e compósitos, especialmente quando o processo requer controle preciso de temperatura e ciclos rápidos de aquecimento e resfriamento.
- Revestimentos: O RTP é utilizado para depositar vários tipos de revestimentos em substratos, incluindo filmes finos e revestimentos em múltiplas camadas, essenciais na produção de dispositivos eletrônicos e ópticos.
- Pesquisa e Desenvolvimento: Os fornos RTP são utilizados extensivamente em pesquisa científica para estudar os efeitos de altas temperaturas em diferentes materiais e a cinética das transformações de fase.
Embalagem do Forno Tubular Deslizante 1200C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-5S
Nosso Forno Tubular Deslizante 1200C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-5S é cuidadosamente manuseado durante armazenamento e transporte para preservar a qualidade do nosso produto em sua condição original.
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