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AL10296 Modelo de nitreto de alumínio não dopado AlN em silício de 2 polegadas (tipo Si <111> N) 2 polegadas x 500 nm

Número de catálogo. AL10296
Material AlN, Si
Tamanho 2 pol. x 500 nm

O modelo de nitreto de alumínio não dopado AlN em silício de 2 polegadas (Si <111> tipo N) de 2 polegadas x 500 nm é um substrato de cerâmica que apresenta um filme de AlN de 500 nm em um wafer de silício de 2 polegadas com orientação (111). A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega o processamento avançado de CVD juntamente com a inspeção SEM para monitorar a uniformidade e a espessura do filme. Essa abordagem minimiza os defeitos do filme, garantindo a consistência essencial para a integração na fabricação de semicondutores e dispositivos eletrônicos.

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