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ST11171 Alvo rotativo de alumínio, estanho e cobre, alvo AlSnCu

Número de catálogo. ST11171
Composição Al, Sn, Cu
Pureza ≥99.9%
Formulário Alvo
Forma Tubular
Dimensões Personalizado

O Alvo Rotativo de Alumínio, Estanho e Cobre, AlSnCu é produzido com controle rigoroso sobre seus elementos de liga para obter um desempenho uniforme de pulverização. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega análise química quantitativa e avaliações metalográficas para monitorar a precisão da composição. O alvo é processado por meio de métodos calibrados de recozimento e inspeções dimensionais, garantindo que cada lote atenda às tolerâncias industriais estabelecidas para obter consistência e desempenho em aplicações de pulverização.

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FAQ

Como a composição da liga no alvo rotativo de alumínio, estanho e cobre afeta o desempenho da pulverização?

A composição da liga do alvo influencia diretamente a uniformidade do filme e a taxa de deposição. As proporções controladas de liga ajudam a estabilizar o processo de pulverização catódica, garantindo erosão e deposição uniformes. Esse controle preciso minimiza as variações nas propriedades do filme, o que é essencial para aplicações de semicondutores e revestimentos.

Quais são as condições operacionais recomendadas para obter a melhor deposição de filme com esse alvo?

O desempenho ideal é obtido com a manutenção de um ambiente de plasma estável e o controle da distância entre o alvo e o substrato. A temperatura e a pressão devem ser monitoradas de perto. As condições operacionais consistentes aumentam a uniformidade do filme e a taxa de deposição, além de reduzir a degradação do alvo durante o processo de pulverização catódica.

Como a uniformidade microestrutural influencia a erosão do alvo durante a pulverização catódica?

A microestrutura uniforme minimiza as variações locais nas taxas de erosão, levando a um desempenho consistente de pulverização catódica. O processamento controlado da liga reduz os pontos quentes e melhora a confiabilidade da deposição do filme. A análise regular das características microestruturais ajuda a ajustar os parâmetros do processo para reduzir o desgaste irregular.

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