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ST11190 Alvo de pulverização planar de índio, no alvo

Número de catálogo. ST11190
Composição Em
Pureza ≥99,99%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

O Indium Planar Sputtering Target, In Target é um alvo de sputtering projetado para aplicações de deposição de filmes finos. Fabricado pela Stanford Advanced Materials (SAM), esse produto é produzido sob rigorosos controles de processo, que incluem inspeções de microscopia de superfície para verificação da uniformidade. A SAM aplica um monitoramento detalhado do processo durante a produção para manter o controle dimensional preciso e a consistência do material, garantindo que o alvo atenda às rigorosas exigências dos sistemas de deposição a vácuo.

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FAQ

Como o acabamento da superfície do alvo de índio influencia o processo de pulverização catódica?

O acabamento da superfície afeta diretamente a taxa de erosão durante o sputtering. Uma superfície lisa e plana promove a deposição uniforme do filme, reduzindo a contaminação por partículas e os defeitos do filme. A preparação otimizada da superfície minimiza a interrupção do processo e aumenta a consistência da deposição. Para obter parâmetros detalhados, entre em contato conosco.

Quais configurações de deposição são recomendadas ao usar um alvo de pulverização catódica de índio?

As configurações recomendadas dependem da configuração da câmara e da espessura desejada do filme. Geralmente, as baixas densidades de potência com uma atmosfera controlada de argônio ajudam a obter um sputtering estável. Podem ser necessários ajustes com base na distância entre o alvo e o substrato, garantindo a uniformidade ideal do filme e o mínimo de estresse térmico.

De que forma a pureza do índio afeta o desempenho do filme em aplicações de semicondutores?

A alta pureza do índio minimiza os defeitos induzidos por impurezas durante o crescimento do filme. Isso resulta em propriedades elétricas aprimoradas e formação de interface consistente. Níveis mais altos de ensaio reduzem os riscos de contaminação e proporcionam um comportamento de deposição previsível, essencial para processos de semicondutores de precisão.

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