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ST11191 Alvo rotativo de índio, no alvo

Número de catálogo. ST11191
Composição Em
Pureza ≥99,99%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Tubular
Dimensões Personalizado

O alvo rotativo de índio, no alvo, é projetado para processos de deposição por pulverização catódica usando índio de alta pureza. A Stanford Advanced Materials (SAM) aplica fusão a arco a vácuo e análise de superfície por meio de microscopia eletrônica de varredura (SEM) para monitorar a uniformidade microestrutural. O processo de fabricação enfatiza a precisão dimensional e o controle do acabamento da superfície para dar suporte à deposição consistente de película fina. A SAM integra métodos quantitativos de controle de qualidade para verificar os principais parâmetros e garantir que o produto atenda a critérios técnicos precisos.

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FAQ

Qual é o impacto do design rotativo na uniformidade do filme durante a pulverização catódica?

A configuração rotativa facilita a erosão uniforme em toda a superfície alvo, o que ajuda a manter taxas de deposição e espessura de filme consistentes. Esse design minimiza a depleção localizada e oferece suporte a propriedades uniformes de filme fino em grandes áreas de substrato.

Como as dimensões personalizadas influenciam o processo de deposição?

As dimensões personalizadas permitem que o alvo se adapte a um equipamento de pulverização específico, garantindo o alinhamento adequado e a distribuição uniforme de energia. Isso reduz os efeitos de borda e contribui para a homogeneidade do filme depositado.

Quais métodos de controle de qualidade são aplicados para avaliar a integridade da superfície do alvo?

O SAM emprega perfilamento de superfície por meio de microscopia eletrônica de varredura (SEM) e metrologia dimensional em processo para verificar a textura e a consistência da superfície. Essas técnicas ajudam a identificar irregularidades microestruturais antes da implantação em sistemas de pulverização.

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