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ST11194 Alvo rotativo de manganês, alvo de Mn

Número de catálogo. ST11194
Composição Mn
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Tubular
Dimensões Personalizado

O alvo rotativo de manganês, Mn Target, é um alvo de sputtering usado para depositar filmes de manganês por meio de sputtering rotativo. Desenvolvido pela Stanford Advanced Materials (SAM), esse produto apresenta pureza de material rigorosamente controlada e uma estrutura cristalina uniforme. A SAM aplica um rigoroso controle de qualidade, incluindo análise de difração de raios X e inspeção de superfície, para minimizar a variabilidade durante a deposição. Esse controle de processo contribui para manter a uniformidade do filme e o desempenho consistente em aplicações de sputtering.

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FAQ

Qual é o impacto do acabamento da superfície e da pureza do material na uniformidade da pulverização catódica?

O fino acabamento da superfície e a alta pureza do material minimizam a geração de partículas, levando a uma taxa de erosão mais uniforme durante a pulverização catódica. Isso resulta em uma deposição de filme mais uniforme sobre substratos sem variabilidade significativa do alvo. Para obter mais detalhes, entre em contato conosco.

Como as dimensões personalizadas influenciam o desempenho do alvo e a estabilidade do processo?

As dimensões personalizadas permitem que o alvo se adapte a configurações específicas do sistema de pulverização catódica, melhorando a consistência da espessura do filme e a estabilidade da taxa de deposição. Essa adaptação ajuda a obter um equilíbrio ideal entre a taxa de erosão e a vida útil do alvo. Para obter mais informações, entre em contato conosco.

Quais procedimentos de pré-sputtering são recomendados para reduzir os riscos de contaminação?

A pré-sputterização usando uma breve execução de condicionamento pode remover os contaminantes da superfície, reduzindo a liberação de partículas durante a deposição real. Esse tratamento estabiliza o perfil de erosão do alvo e minimiza as interrupções do processo. Para obter mais orientações, entre em contato conosco.

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