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ST11207 Alvo de titanato de zirconato de chumbo, alvo de PZT

Número de catálogo. ST11207
Composição Titanato de zirconato de chumbo
Pureza ≥99,99%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Redondo, retangular, etc.
Dimensões Personalizado

O alvo de titanato de zirconato de chumbo, alvo PZT, é um alvo de pulverização catódica composto de cerâmica Pb(Zr,Ti)O₃, formulado para depositar filmes finos em processos industriais. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega análise quantitativa de difração de raios X e perfilometria de superfície para avaliar a uniformidade do material e a integridade da fase. A abordagem metódica da SAM confirma que cada alvo atende a critérios rigorosos de composição e microestrutura para aplicações avançadas de sputtering.

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FAQ

Como a dimensão personalizada afeta a uniformidade da deposição durante o sputtering?

Uma dimensão personalizada permite a otimização da distância entre o alvo e o substrato e a distribuição uniforme do plasma, o que facilita a deposição uniforme do filme. O ajuste das dimensões pode equilibrar as taxas de deposição e atenuar os efeitos de borda. Entre em contato conosco para obter detalhes sobre a integração em sistemas específicos de pulverização catódica.

Quais controles de processo são usados para manter a integridade microestrutural do alvo de PZT?

As medidas de controle detalhadas incluem difração de raios X e profilometria de superfície. Essas técnicas monitoram a distribuição de fases e o acabamento da superfície, garantindo que o alvo mantenha uma microestrutura consistente durante a produção para obter características de filme estáveis.

Como se deve gerenciar os aspectos térmicos considerando o ponto de fusão durante a deposição por pulverização catódica?

Embora o ponto de fusão específico não seja fornecido, o gerenciamento térmico é fundamental. Ele envolve a manutenção da temperatura controlada do substrato e a incorporação de mecanismos de resfriamento para evitar o superaquecimento localizado durante a deposição. Entre em contato conosco para obter recomendações detalhadas sobre o manuseio térmico.

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