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ST11455 Alvo planar de níquel-cobalto-vanádio, alvo NiCoV

Número de catálogo. ST11455
Composição NiCoV
Forma Retangular
Formulário Alvo
Pureza Ni+Co+V: ≥99%

O alvo planar de níquel-cobalto-vanádio, alvo NiCoV, é fabricado a partir de uma liga NiCoV especificamente formulada e projetada para aplicações de sputtering. A Stanford Advanced Materials (SAM) aplica análises espectroscópicas e de difração de raios X para verificar a uniformidade da composição e a consistência estrutural. A SAM mantém dados de controle detalhados durante a produção para minimizar a geração de partículas e garantir características de deposição uniformes. Essas medidas garantem propriedades previsíveis do filme durante o processamento de filmes finos.

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FAQ

Como a composição do alvo de NiCoV melhora o desempenho da pulverização?

A liga NiCoV promove um padrão de erosão uniforme durante o sputtering. Essa consistência ajuda a obter uma espessura de filme estável e reduz a contaminação por partículas, melhorando a repetibilidade do processo.

Qual é o impacto da geometria plana na uniformidade da deposição?

O design plano garante um campo elétrico uniforme durante a pulverização. Isso resulta em deposição homogênea e efeitos de borda mínimos, o que é crucial para aplicações que exigem filmes finos uniformes.

Quais condições de processo são recomendadas para otimizar o uso desse alvo?

A operação sob condições controladas de pressão e temperatura melhora a adesão do filme e minimiza o desgaste do alvo. Ajuste as configurações de potência de pulverização com base nos requisitos de taxa de deposição. Para obter orientações detalhadas, consulte os protocolos de processo específicos ou entre em contato conosco.

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