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ST11457 Alvo planar de níquel-cromo e ferro, alvo NiCrFe

Número de catálogo. ST11457
Composição NiCrFe
Forma Retangular
Formulário Alvo
Pureza Ni+Cr+Fe: ≥99%

O alvo planar de níquel-cromo e ferro, NiCrFe, é fabricado com uma liga de NiCrFe formulada para processos de deposição por pulverização catódica. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega inspeção sistemática por microscopia eletrônica e análise quantitativa da superfície durante a produção para verificar a uniformidade da liga e a morfologia da superfície. A abordagem da SAM minimiza a contaminação e as inconsistências de material, garantindo que o alvo atenda aos rigorosos critérios de desempenho para aplicações de deposição em uma variedade de ambientes de processamento.

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FAQ

Como a composição de NiCrFe influencia o processo de deposição por pulverização catódica?

A composição de NiCrFe aprimora o processo de pulverização, oferecendo taxas de erosão equilibradas e interações de plasma controladas. Essa consistência promove a deposição uniforme de filmes finos e ajuda a obter uma espessura de revestimento previsível, importante para aplicações na fabricação de semicondutores e dispositivos ópticos.

Que fatores operacionais devem ser considerados ao usar alvos planos em sistemas de pulverização catódica?

Os principais fatores incluem a uniformidade do plasma, o resfriamento do alvo e os mecanismos de rotação que garantem um bombardeio uniforme de íons. Esses fatores sustentam taxas de deposição consistentes e uniformidade do filme. A inspeção e a calibração regulares do sistema de pulverização catódica ajudam ainda mais a manter o controle do processo.

Quais práticas de armazenamento e manuseio são recomendadas para alvos de sputtering?

Os alvos devem ser armazenados em ambientes livres de umidade e com temperatura controlada. A embalagem protetora antiestática minimiza os danos físicos e a contaminação. Os procedimentos de manuseio que reduzem a exposição à poeira e ao material particulado ajudam a preservar a integridade da superfície de pulverização catódica.

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