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ST11462 Alvo planar de alumínio e cobre, alvo de AlCu

Número de catálogo. ST11462
Composição AlCu
Forma Retangular
Formulário Alvo
Pureza Al+Cu: ≥99%

O Alvo Planar de Alumínio e Cobre, AlCu, foi projetado para processos de deposição física de vapor com uma superfície plana uniforme que suporta sputtering consistente. Fabricado pela Stanford Advanced Materials (SAM), o produto passa por inspeção óptica de rotina e metrologia dimensional para verificar a planicidade da superfície e a consistência da composição. Essas medidas são integradas ao processo de produção da SAM para manter as características precisas do material para a deposição controlada de película fina.

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FAQ

Quais métodos de deposição são compatíveis com o Aluminum Copper Planar Target?

O alvo é adequado para sputtering em sistemas de deposição física de vapor. Sua geometria plana permite a distribuição uniforme do plasma, o que contribui para a erosão uniforme do material. Ajustes na densidade de potência e na pressão do gás podem ser necessários com base em configurações específicas do sistema.

Como a composição do AlCu afeta o desempenho do alvo?

A composição definida da liga de AlCu garante uma taxa de pulverização consistente e propriedades estáveis de película fina. Essa previsibilidade é crucial para processos que exigem espessura de revestimento uniforme e perfis de deposição reprodutíveis na fabricação de semicondutores e eletrônicos.

Quais são as condições de armazenamento recomendadas para esse alvo?

O alvo deve ser armazenado em um ambiente seco e com temperatura controlada para evitar a oxidação e a contaminação da superfície. É aconselhável manter o alvo em sua embalagem original e lacrada até a instalação. Entre em contato conosco para obter procedimentos detalhados de manuseio, se precisar de mais esclarecimentos.

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