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ST11464 Alvo planar de alumínio, titânio e silício, alvo AlTiSi

Número de catálogo. ST11464
Composição AlTiSi
Forma Retangular
Formulário Alvo
Pureza Al+Ti+Si: ≥99%

O alvo planar de alumínio, titânio e silício, AlTiSi, foi projetado para processos de deposição por pulverização catódica. Ele incorpora uma mistura equilibrada de alumínio, titânio e silício para obter uma estrutura planar consistente, propícia à formação uniforme de filmes finos. A Stanford Advanced Materials (SAM) aplica fusão a vácuo controlada e usinagem precisa durante a produção. As medidas de controle de qualidade incluem a verificação espectroscópica da composição elementar e da condição da superfície para minimizar as irregularidades em aplicações técnicas.

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FAQ

Quais medidas minimizam as variações de composição no material alvo?

O processo de fabricação emprega mistura extensiva e fusão controlada de matérias-primas. Essas etapas reduzem as diferenças locais de composição e contribuem para um processo de pulverização uniforme. Entre em contato conosco para obter mais detalhes.

Como a configuração planar afeta a eficiência da pulverização?

Uma estrutura plana produz um bombardeio uniforme de íons, o que resulta em uma taxa de erosão uniforme durante o sputtering. Essa consistência favorece a deposição estável do filme e a uniformidade da espessura. Entre em contato conosco para obter mais informações técnicas.

Quais testes de controle de qualidade são realizados durante a produção?

O processo de produção inclui análise espectroscópica e avaliações da morfologia da superfície. Esses testes verificam a composição elementar desejada e verificam se há irregularidades na superfície, de acordo com os padrões do setor. Entre em contato conosco para obter informações adicionais.

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