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ST11208 Alvo planar de silício, alvo de Si

Número de catálogo. ST11208
Composição Si
Pureza ≥99,99%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

O alvo planar de silício, Si Target, é um alvo de sputtering fabricado de silício com um acabamento de superfície planar preciso. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega processos de fabricação controlados, incluindo metrologia em linha e inspeção de superfície para monitorar os níveis de planicidade e impureza. Essa abordagem minimiza os defeitos e garante propriedades materiais uniformes essenciais para os processos de deposição. O produto se beneficia de protocolos detalhados de teste de lote que verificam a precisão dimensional antes do envio.

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FAQ

Como o acabamento da superfície plana do alvo de silício afeta o desempenho da pulverização catódica?

O acabamento da superfície plana garante uma taxa de deposição consistente em todo o substrato, minimizando assim as variações de espessura do filme. A uniformidade na pulverização contribui diretamente para melhorar a reprodutibilidade das propriedades do filme fino.

Quais procedimentos de manuseio são recomendados para evitar a contaminação do alvo de silício?

Use protocolos apropriados de sala limpa, incluindo o manuseio antiestático e o uso de luvas. Minimizar a exposição a partículas transportadas pelo ar e à umidade é fundamental para preservar a integridade da superfície do alvo e o desempenho ideal do sputtering.

De que forma a personalização das dimensões-alvo influencia a integração do processo?

A personalização das dimensões permite que o alvo se adapte aos requisitos específicos do sistema de pulverização catódica, garantindo a compatibilidade com as câmaras de deposição. Essa adaptabilidade facilita a integração mais eficiente do processo e maximiza a uniformidade do filme. Entre em contato conosco para obter mais detalhes.

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