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ST11216 Alvo planar de siliceto de tântalo, alvo de TaSi2

Número de catálogo. ST11216
Composição TaSi2
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

Alvo planar de siliceto de tântalo, TaSi2 O alvo é fabricado a partir de TaSi2 usando técnicas controladas de fusão e planarização para obter propriedades microestruturais consistentes. A Stanford Advanced Materials (SAM) utiliza microscopia eletrônica e difração de raios X para verificação de lotes, garantindo composição e estrutura de grãos uniformes. O processo de produção inclui amostragem estatística e análise precisa da superfície, o que garante a aderência a especificações rigorosas e apoia o desempenho reprodutível da deposição.

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FAQ

Como a microestrutura dos alvos de TaSi2 influencia o desempenho da pulverização catódica?

A microestrutura governa diretamente a uniformidade do filme, afetando a consistência da taxa de deposição e a qualidade da interface. Limites de grãos bem controlados reduzem a dispersão de partículas, melhorando assim a adesão e a uniformidade do filme durante a deposição por pulverização catódica.

Quais medidas de controle de qualidade são implementadas durante a produção de alvos de pulverização de TaSi2?

O SAM emprega microscopia eletrônica e difração de raios X para avaliar a estrutura dos grãos e a uniformidade da composição. A amostragem específica do lote e os ensaios de composição são realizados para garantir a adesão estrita às especificações definidas do material.

Existem condições específicas de manuseio ou armazenamento recomendadas para alvos de TaSi2 para manter sua integridade?

Esses alvos devem ser armazenados em um ambiente seco e com temperatura controlada. Recomenda-se o uso de contêineres antiestáticos e protocolos de manuseio mínimos para evitar a contaminação e a oxidação da superfície antes das aplicações de sputtering.

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