Fornalha Tubular Três Zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Descrição
OTF-1200X-III-HVC a série de estações de fornalha inclui um forno tubular de três zonas da série OTF-1200X-III, uma estação de controle de fluxo de gás de massa de precisão, uma estação de alto vácuo e outros componentes essenciais. Esta estação de trabalho tem uma temperatura máxima de operação de 1200 °C e pode atingir um nível de vácuo final de 10^-4 torr com o conjunto de vedação fornecido. A estação de controle de fluxo de gás de massa mistura múltiplos tipos de gases e insere o gás misturado em um tubo de quartzo fundido dentro do forno. É ideal para realizar experimentos como Deposição Química de Vapor (CVD), difusão e outros tratamentos térmicos em condições de vácuo com proteção de gás de cobertura. O forno também apresenta um painel de controle de gás de massa com display digital LED de 4 canais para gestão precisa dos gases.
Fornalha Tubular Três Zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Especificações
Série OTF-1200 Fornalha Tubular
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Estrutura do Forno
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- Carcaça externa de aço de dupla camada com resfriamento a ar.
- Termostato embutido para controlar o funcionamento do resfriamento automaticamente quando a carcaça > 55 °C.
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Tubo de Processamento
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- Material: tubo de quartzo fundido
- Um tubo de processamento está incluído com o forno.
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Potência
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7KW, 208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Temperatura de Trabalho
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- Temp. Máx: 1200℃ (1 h); 1100℃ (contínuo)
- Taxa de Aquecimento: ≤20℃/min
- Precisão da Temperatura: ±1.0℃
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Comprimento da Zona de Aquecimento
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Total da zona de aquecimento: 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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Elementos de Aquecimento
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Liga de Fe-Cr-Al dopada com Mo
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Controlador de Temperatura
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- Três controladores de temperatura de precisão para controlar três zonas separadamente.
- Controle automático PID com 30 segmentos programáveis.
- Precisão de temperatura: ±1°C
- Termopar: tipo K embutido no forno
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Vedação de Vácuo
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- Um par de flange de vácuo em aço inoxidável com:
um manômetro mecânico
duas válvulas de agulha
um conector KF-40 para a estação de alto vácuo
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Dimensão
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1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
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Tensão Nominal
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208-240VAC, Monofásico, 50/60Hz
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Estação de Alto Vácuo
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Estrutura
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Tamanho do carrinho móvel: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
Peso Máximo: 600 Lbs na parte superior
Painel de Controle da Bomba Molecular: Digital LCD
Interno: Bomba de Vácuo
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Taxa de Fluxo Volumétrico
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Nitrogênio N2: 33 L/s
Hélio He: 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrogênio H2: 32 L/s
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Intervalo de Trabalho
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressão Final
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<1E-8 mbar (sem nenhum vazamento)
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Tensão & Potência
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110VAC ou 220VAC, 110W
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Controle de Fluxo de Gás de Massa
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Estrutura
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- Sistema de Controle de Gás de 2-9 Canais com Painel Touch de PLC e Software de Operação em PC
- Display LED
- 4 canais MFC feitos de aço inoxidável 316 com faixa de fluxo de gás detalhada abaixo:
Controlador 1: 0~100SCCM
Controlador 2: 1~199 SCCM
Controlador 3: 1~199 SCCM
Controlador 4: 1~499 SCCM
- 4 canais de gás passam por um tanque de mistura de gás: Φ80X120mm
- Dimensão: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
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Potência
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18W por canal
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Tensão Nominal
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AC 208-240V, Monofásico, 50/60Hz
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Envio & Garantia
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Dimensão do Envio
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Total de Três Paletes: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
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Peso do Envio
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850 lbs
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Garantia
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Garantia limitada de um ano
(Peças consumíveis, como tubos de processamento, o-rings e elementos de aquecimento não estão cobertos pela garantia, favor solicitar peças de reposição nos produtos relacionados abaixo.)
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Conformidade
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Certificado CE
Certificação NRTL ou CSA a custo adicional.
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Aviso
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Os fornos tubulares com tubo de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0.2 bar / 3 psi
Atenção: Um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para operação segura.
A taxa de fluxo para os gases deve ser limitada a < 200 SCCM (ou 200 ml/min) para reduzir choques térmicos no tubo
Definição do limite de vácuo para todos os fornos de tubo de quartzo: * Pressões de vácuo só podem ser usadas com segurança até 1000°C
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Fornalha Tubular Três Zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Aplicações
- Deposição Química de Vapor (CVD):
- Deposição de filmes finos e revestimentos em substratos.
- Usada na produção de dispositivos semicondutores e células fotovoltaicas.
- Facilita o movimento de átomos ou moléculas dentro de sólidos.
- Essencial para o desenvolvimento e processamento de materiais semicondutores.
- Tratamentos Térmicos Sob Vácuo:
- Permite o recozimento, sinterização e outros tratamentos térmicos em um ambiente de vácuo controlado.
- Reduz a contaminação e oxidação, melhorando as propriedades do material.
- Proteção com Gás de Cobertura:
- Permite experimentos que requerem atmosferas inertes ou redutoras.
- Protege as amostras de oxidação e outras interações atmosféricas durante o processamento.
Fornalha Tubular Três Zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Embalagem
A nossa Fornalha Tubular Três Zonas 1200C para CVD OTF-1200X-III-HVC-LD é cuidadosamente manuseada durante o armazenamento e transporte para preservar a qualidade do nosso produto em sua condição original.
Especificação
Fornos de Tubo Série OTF-1200X
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Estrutura do Forno
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- Revestimento de aço de dupla camada com resfriamento a ar.
- Termostato embutido para controlar o resfriamento automaticamente quando a temperatura da caixa > 55°C.
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Tubo de Processamento
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- Material: tubo de quartzo fundido
- Um tubo de processamento está incluído com o forno.
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Potência
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7KW, 208-240VAC, Fase Única, 50/60Hz
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Temperatura de Trabalho
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- Temperatura Máx: 1200℃ (1 hora); 1100℃ (contínua)
- Taxa de Aquecimento: ≤20℃/min
- Precisão da Temperatura: ±1.0℃
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Comprimento da Zona de Aquecimento
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Comprimento total da zona de aquecimento: 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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Elementos Aquecedores
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Liga Fe-Cr-Al dopada com Mo
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Controlador de Temperatura
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- Três controladores de temperatura de precisão para controlar três zonas separadamente.
- Controle automático PID com 30 etapas de segmentos programáveis.
- Precisão da temperatura: ±1°C
- Termopar: tipo K embutido no forno
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Válvula de Vácuo
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- Um par de flanges de vácuo em aço inoxidável com:
um manômetro mecânico
duas válvulas de agulha
uma conector KF-40 para a estação de alto vácuo
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Dimensões
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1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
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Tensão Nominal
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208-240VAC, Fase Única, 50/60Hz
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Estação de Alto Vácuo
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Estrutura
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Tamanho do carrinho móvel: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
Capacidade Máx.: 600 lbs no topo
Painel de Controle da Bomba Molecular: Digital LCD
Interno: bomba de vácuo
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Taxa de Fluxo Volumétrico
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Nitrogênio N2: 33 L/s
Hélio He: 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrogênio H2: 32 L/s
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Faixa de Trabalho
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressão Final
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<1E-8 mbar (sem vazamento)
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Tensão & Potência
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110VAC ou 220VAC, 110W
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Controle de Gás de Fluxo de Massa
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Estrutura
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- Sistema de Controle de Gás de 2-9 Canais com Painel Touch e Software de Operação em PC
- Display LED
- 4 canais MFC feitos de aço inox 316 com intervalo de fluxo de gás conforme abaixo:
Controlador 1: 0~100SCCM
Controlador 2: 1~199 SCCM
Controlador 3: 1~199 SCCM
Controlador 4: 1~499 SCCM
- 4 canais de gás passam por um tanque de mistura de gás: Φ80X120mm
- Dimensões: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
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Potência
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18W por canal
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Tensão Nominal
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AC 208-240V, Fase única, 50/60Hz
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Transporte & Garantia
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Dimensões de Transporte
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Total de Três Paletes: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
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Peso de Transporte
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850 lbs
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Garantia
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Garantia limitada de um ano
(Partes consumíveis, como tubos de processamento, juntas de vedação e elementos de aquecimento não são cobertas pela garantia; por favor, encomende a substituição nos produtos relacionados abaixo.)
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Conformidade
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Certificado CE
Certificação NRTL ou CSA com custo adicional.
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Aviso
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Os fornos de tubo com tubo de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0.2 bar / 3 psi
Atenção: Um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para operação segura.
A taxa de fluxo para gases deve ser limitada a < 200 SCCM (ou 200 ml/min) para reduzir choques térmicos ao tubo
Definição do limite de vácuo para todos os fornos de tubo de quartzo: * Pressões de vácuo podem ser usadas com segurança até 1000°C
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