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ST11178 Alvo rotativo de ferro-cobalto-boro, alvo CoFeB

Número de catálogo. ST11178
Composição CoFeB
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Tubular
Dimensões Personalizado

O alvo rotativo de ferro-cobalto-boro, CoFeB, é fabricado com uma composição de liga controlada para garantir características de pulverização uniformes. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega fusão de arco a vácuo dedicada, seguida de análise rigorosa de SEM e EDS para verificar a homogeneidade do material. O produto é processado sob condições metalúrgicas rigorosas para reduzir as inconsistências microestruturais que podem afetar a uniformidade do filme em processos de pulverização de baixa pressão.

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FAQ

Quais fatores influenciam o comportamento de pulverização do alvo de CoFeB durante a deposição de filme fino?

O comportamento da pulverização é influenciado pela homogeneidade da liga, pela densidade do alvo e pelas características microestruturais. As variações nesses parâmetros podem afetar a taxa de deposição e a uniformidade do filme. O controle detalhado da qualidade usando o SEM pode ajudar a verificar as características necessárias do material para otimizar o desempenho.

Como o design rotativo do alvo melhora seu desempenho nos processos de pulverização catódica?

O design rotativo permite a erosão uniforme em toda a superfície alvo, reduzindo o superaquecimento localizado e mantendo a distribuição uniforme do material. Isso promove características de deposição consistentes, particularmente importantes para aplicações que exigem revestimentos de filme uniformes em substratos grandes.

Quais são as práticas de manutenção recomendadas para aumentar a vida útil dos alvos de sputtering CoFeB?

É necessária uma inspeção regular para verificar o desgaste da superfície, manter o resfriamento adequado durante a pulverização catódica e seguir as condições controladas de armazenamento. Essas práticas ajudam a evitar a contaminação e a degradação física, aumentando assim a vida útil do alvo. Para obter mais detalhes, entre em contato conosco.

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