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ST11179 Alvo planar de cobalto, ferro, tântalo e boro, alvo CoFeTaB

Número de catálogo. ST11179
Composição CoFeTaB
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

O alvo planar de cobalto, ferro, tântalo e boro, CoFeTaB é produzido com controle elementar preciso e uma superfície plana e uniforme otimizada para deposição por pulverização catódica. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega análise espectrométrica e inspeção microestrutural durante a produção para monitorar a homogeneidade da liga. Os parâmetros do processo são rigorosamente medidos para manter o controle das taxas de erosão e deposição do filme, garantindo que cada alvo apresente desempenho consistente durante o processamento.

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FAQ

Como o design plano do alvo de CoFeTaB melhora a uniformidade da deposição do filme?

A geometria plana garante uma distribuição uniforme do plasma em toda a superfície do alvo durante a pulverização, o que minimiza a erosão localizada e promove uma espessura consistente do filme. Essa uniformidade é fundamental para manter a integridade do desempenho dos filmes depositados em aplicações de semicondutores.

Quais medidas de controle de qualidade são implementadas na produção de alvos CoFeTaB?

A produção envolve análise espectrométrica de rotina e inspeção microestrutural detalhada. Essas medidas verificam a composição da liga e a uniformidade da superfície alvo, reduzindo as variações no desempenho da deposição. Para obter mais detalhes, entre em contato conosco.

As dimensões do alvo podem ser personalizadas para se adequar a sistemas de pulverização específicos?

Sim, as dimensões do alvo são personalizáveis, permitindo a integração com vários projetos de equipamentos de pulverização catódica. A adaptação do tamanho do alvo facilita o alinhamento ideal e a uniformidade da deposição em diferentes configurações de fabricação.

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