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ST11209 Alvo de pulverização de silício, alvo de Si

Número de catálogo. ST11209
Composição Sim
Pureza ≥99,99% ou sob medida
Formulário Meta
Forma Redondo, retangular
Dimensões Personalizado

O alvo de pulverização de silício (alvo de Si) é um alvo de silício metálico produzido para deposição física de vapor. Stanford Advanced Materials (SAM) aplica práticas consagradas de deposição química de vapor e utiliza microscopia eletrônica interna para monitorar a uniformidade da superfície durante a produção. O processo da SAM inclui inspeção quantitativa de defeitos e medições calibradas de densidade para manter as especificações do material essenciais para a deposição de filmes finos. Este alvo é produzido com atenção à composição medida e à precisão dimensional.

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Silicon Sputtering Target, Si Target
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Composição
Sim
Pureza
≥99,99% ou sob medida
Formulário
Meta
Forma
Redondo, retangular
Dimensões
Personalizado
 
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Dimensões
Alvos circulares Diâmetro 10-400 mm Espessura 2-28
Material
R04200 R04210
Número CAS
7440-03-1
Densidade
8,57 g/cm3
Formulário
Alvo
Pureza
≥99.9%
 
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Material
R4251 (Nb-1Zr) R4261 (Nb-1Zr)
Dimensões
Alvos circulares: diâmetro de 10 a 400 mm; espessura de 2 a 28 mm
Pureza
99,9% 99,95% 99,99%
 
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Dimensões
Diâmetro: 10-400 mm, ou sob medida
Material
Nb-10Hf
Formulário
Alvo, Disco

FAQ

Como o recurso de dimensão personalizada afeta a uniformidade da deposição da camada em aplicações de pulverização catódica?

As dimensões personalizadas permitem a integração em configurações de equipamentos que exigem tamanhos específicos de alvo, o que pode melhorar a uniformidade da deposição de filmes finos. A adaptação aos requisitos do processo minimiza os efeitos de borda e contribui para um crescimento consistente do filme. Entre em contato conosco para obter orientações detalhadas sobre integração.

Quais são as especificações de pureza do material normalmente observadas em alvos de pulverização de silício?

O silício de alta pureza é utilizado para reduzir as variações nas camadas depositadas causadas por contaminantes. O processo de produção envolve testes quantitativos e inspeções de superfície para verificar se o silício atende aos níveis de pureza controlados, essenciais para os processos de semicondutores.

O alvo de silício pode ser adaptado aos diferentes requisitos dos sistemas de pulverização catódica?

Sim, é possível personalizar as dimensões. Isso permite que o alvo se adapte a diversas geometrias de câmara e sistemas de deposição. O ajuste do tamanho do alvo ajuda a otimizar a eficiência da pulverização catódica e a uniformidade do filme em diferentes configurações de produção.

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    Diâmetro

    2''

    • 2''
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    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • Outros
    • Other
    Espessura

    0,25''

    • 0,25''
    • 0,125''
    • Todos
    • Other
    Vinculação

    Sim

    • Sim
    • Não
    • Other

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