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ST11209 Alvo de pulverização de silício, alvo de Si

Número de catálogo. ST11209
Composição Si
Pureza ≥99,99%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Redondo, Retangular
Dimensões Personalizado

O alvo de pulverização de silício, Si Target, é um alvo de silício metálico produzido para deposição física de vapor. A Stanford Advanced Materials (SAM) aplica práticas estabelecidas de deposição de vapor químico e microscopia eletrônica interna para monitorar a uniformidade da superfície durante a produção. O processo da SAM inclui inspeção quantitativa de defeitos e medições de densidade calibradas para manter as especificações de materiais essenciais para a deposição de filmes finos. Esse alvo é produzido com atenção à composição medida e à precisão dimensional.

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FAQ

Como o recurso de dimensão personalizada afeta a uniformidade de deposição do filme em aplicações de pulverização catódica?

As dimensões personalizadas permitem a integração em configurações de equipamentos que exigem tamanhos de alvo específicos, o que pode melhorar a uniformidade da deposição de filmes finos. A adaptação aos requisitos do processo minimiza os efeitos de borda e oferece suporte ao crescimento consistente do filme. Entre em contato conosco para obter orientação detalhada sobre integração.

Quais especificações de pureza de material são normalmente observadas em alvos de pulverização de silício?

O silício de alta pureza é usado para reduzir as variações induzidas por contaminantes nos filmes depositados. O processo de produção envolve testes de ensaio quantitativo e inspeções de superfície para verificar se o silício atende aos níveis de pureza controlados essenciais para os processos de semicondutores.

O alvo de silício pode ser adaptado a diferentes requisitos do sistema de pulverização catódica?

Sim, a personalização das dimensões está disponível. Isso permite que o alvo se adapte a diversas geometrias de câmara e sistemas de deposição. O ajuste do tamanho do alvo ajuda a otimizar a eficiência do sputtering e a uniformidade do filme em diferentes configurações de produção.

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