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ST11460 Alvo planar de cobalto, cromo, ferro e níquel, alvo de CoCrFeNi

Número de catálogo. ST11460
Composição CoCrFeNi
Forma Retangular
Formulário Alvo
Pureza Co+Cr+Fe+Ni: ≥99%

O alvo planar de cobalto, cromo, ferro e níquel, CoCrFeNi, é projetado usando uma composição de liga controlada que suporta a erosão uniforme em processos de pulverização. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega análise metalúrgica detalhada e inspeção baseada em SEM durante a produção. O processo garante a integridade dimensional e a microestrutura consistente dos alvos de pulverização. A SAM integra protocolos quantitativos de controle de qualidade para minimizar os desvios de composição, apoiando assim o desempenho repetível em aplicações de deposição de filmes finos.

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FAQ

Como o design plano do alvo afeta a uniformidade do filme durante a deposição?

A geometria plana do alvo promove a pulverização consistente de íons em toda a superfície, o que leva à deposição uniforme de filmes finos. Esse design minimiza a erosão localizada e mantém uma estequiometria estável durante o processamento. Para obter mais detalhes técnicos, entre em contato conosco.

Qual é o impacto da composição controlada da liga no desempenho da pulverização?

A composição controlada de CoCrFeNi garante taxas de erosão reproduzíveis e propriedades consistentes do filme. A homogeneidade adequada da liga minimiza as variações na espessura do filme e os gradientes de composição durante a deposição, dando suporte à fabricação de dispositivos precisos. Para obter mais informações, entre em contato conosco.

Quais procedimentos de limpeza e manutenção são recomendados para um desempenho ideal do alvo?

Recomenda-se a limpeza de rotina com solventes apropriados e inspeções periódicas da superfície para remover os resíduos pulverizados. Isso minimiza a contaminação e preserva o perfil de erosão do alvo. A implementação de tais protocolos de manutenção permite resultados consistentes de deposição. Para obter mais informações, entre em contato conosco.

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