O que é Sputtering?
Sputtering é um processo que usa plasma gasoso para deslocar átomos da superfície de um material alvo sólido. Os átomos são depositados para formar um revestimento extremamente fino na superfície dos substratos. É uma técnica frequentemente usada para depositar filmes finos de semicondutores, CDs, unidades de disco e dispositivos ópticos. Os filmes pulverizados apresentam excelente uniformidade, densidade, pureza e adesão. É possível produzir ligas de composição precisa com pulverização convencional ou óxidos, nitritos e outros compostos por pulverização reativa.
Processo de sputtering:
- Os íons de gás inerte são acelerados no alvo
- O alvo é corroído pelos íons por meio de transferência de energia e é ejetado na forma de partículas neutras
- As partículas neutras do alvo atravessam e são depositadas como um filme fino na superfície dos substratos



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