Descrição das bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício
As bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício são criadas pelo revestimento da superfície do grafite isotrópico altamente purificado com uma fina camada de carbeto de silício pelo processo de deposição química de vapor (CVD). As bandejas de grafite revestidas com SiC são amplamente utilizadas em semicondutores e revestimentos.
O processo CVD proporciona pureza extremamente alta e densidade teórica de revestimento de SiC sem porosidade. Além disso, como o carbeto de silício é muito duro, ele pode ser polido até obter uma superfície espelhada. O revestimento de carbeto de silício (SiC) CVD oferece várias vantagens, inclusive uma superfície de pureza ultra-alta e extrema durabilidade ao desgaste. Como os produtos revestidos têm ótimo desempenho em circunstâncias de alto vácuo e alta temperatura, eles são ideais para aplicações no setor de semicondutores e em outros ambientes ultralimpos.
A Stanford Advanced Materials também fornece bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício.
Especificação das bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício
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Fórmula do composto
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SiC
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Peso molecular
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40.1
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Aparência
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Preto
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Ponto de fusão
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2.730℃ (4.946℉) (decompõe-se)
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Densidade
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3,0 a 3,2 g/cm3
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Resistividade elétrica
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1 a 4 10x Ω-m
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Índice de Poisson
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0,15 a 0,21
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Calor específico
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670 a 1180 J/kg-K
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Espessura do revestimento
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50~500um
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Vantagens das bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício
- A camada de carbeto de silício é muito dura e estável em altas temperaturas. Ela tem excelente resistência à oxidação, à corrosão e a produtos químicos.
- O grafite revestido com SiC evita a separação e a dispersão das partículas de grafite, bem como a emissão de gases e impurezas na matriz de grafite.
Aplicações das bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício
- O revestimento de carbeto de silício CVD já foi aplicado em setores de semicondutores, como bandejas MOCVD, RTP e câmaras de gravação de óxido, pois o nitreto de silício tem grande resistência a choques térmicos e pode suportar plasma de alta energia.
- O carbeto de silício é amplamente utilizado em semicondutores e revestimentos.
Embalagem de bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício
Nossas bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício são cuidadosamente manuseadas para minimizar os danos durante o armazenamento e o transporte e para preservar a qualidade de nossos produtos em sua condição original.
Perguntas frequentes sobre bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício
Q1: Quais são as principais características das bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício?
A1: As bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício (SiC) combinam a excelente resistência a altas temperaturas do grafite com a maior resistência à corrosão e a proteção contra oxidação proporcionadas pelo revestimento de SiC. Elas são amplamente utilizadas em fornos de alta temperatura, metalurgia e indústrias de cerâmica, oferecendo excelente estabilidade química e resistência ao desgaste.
P2: Qual é a temperatura máxima de operação dessas bandejas?
A2: As bandejas de grafite revestidas com carbeto de silício normalmente suportam temperaturas de até 1600°C, dependendo do tamanho da bandeja e da espessura do revestimento.
P3: Como o revestimento de SiC melhora o desempenho das bandejas?
R3: O revestimento de SiC protege a bandeja de grafite da oxidação em alta temperatura, aumentando significativamente sua resistência à corrosão química. Essa camada protetora evita a degradação da superfície em ambientes agressivos, aumentando assim a vida útil da bandeja.
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