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ST0209 Alvo de Sputtering de Nitreto de Boro (BN)

Número de catálogo. ST0209
Composição BN
Número CAS 10043-11-5
Pureza ≥99% (99,5% / 99,9% disponível)
Forma Discos ou personalizados
Sinônimos Alvo de pulverização de nitreto de boro, alvo de BN, alvo de nitreto de boro hexagonal, alvo de h-BN

A Stanford Advanced Materials (SAM) oferece alvos de pulverização de nitreto de boro (BN) de alta pureza (≥99%) projetados para processos avançados de deposição de filmes finos. O nitreto de boro é um material cerâmico exclusivo que combina alta condutividade térmica com excelente isolamento elétrico, o que o torna ideal para aplicações em semicondutores, microeletrônica e revestimento óptico. Nossos alvos de BN são fabricados por meio de sinterização por prensagem a quente e usinagem de precisão para atingir alta densidade (>1,9 g/cm³) e estrutura de grãos fina e uniforme, garantindo desempenho consistente de pulverização por RF e geração mínima de partículas. Disponível em geometrias de disco padrão ou configurações personalizadas para atender a requisitos específicos do sistema.

Produtos relacionados: Alvo de pulverização de nitreto de alumínio (AlN) | Alvo de pulverização de nitreto de silício (Si3N4) | Alvo de pulverização de carbeto de boro (B4C)

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FAQ

P: Qual método de sputtering funciona melhor para alvos de nitreto de boro?

A: O BN é um isolante elétrico, portanto, você precisa de RF ou sputtering reativo a RF (RF-R). A corrente contínua não funcionará; a carga se acumula na superfície do alvo e você terá um arco elétrico ou o plasma se extinguirá.

 

P: Por que a densidade é importante para os alvos da BN?

A: O BN é naturalmente macio e pode ser poroso se não for processado corretamente. Baixa densidade significa mais partículas durante a pulverização e qualidade de filme inconsistente. Nós prensamos a quente para obter densidade de 1,9 g/cm, que é cerca de 90% ou mais da densidade teórica, que é o ponto ideal para estabilidade mecânica e desempenho de pulverização.

 

P: Os alvos BN precisam ser colados em uma placa de apoio?

A: Em geral, sim, especialmente se estiver funcionando com uma potência razoável. O BN é frágil e o choque térmico pode quebrá-lo se não estiver adequadamente ligado a uma placa de apoio resfriada. Oferecemos ligação de índio e elastômero— informe-nos sua faixa de potência e recomendaremos o que funciona.

P: Qual é a diferença entre o BN hexagonal (h-BN) e outras formas?

A: O h-BN é a forma macia e lubrificante (semelhante à estrutura do grafite) e é o que a maioria dos alvos de pulverização usa. Há também o BN cúbico (c-BN), que é superduro (como o diamante), mas normalmente não é usado para alvos de pulverização. Nossos alvos são h-BN com orientação de grão aleatória para uma pulverização consistente.

P: Qual é o prazo de entrega de um alvo BN personalizado?

A: Os discos padrão (2"-6") geralmente são enviados em uma ou duas semanas. Os formatos personalizados levam de 3 a 4 semanas, dependendo da complexidade. Se você estiver com pressa, avise-nos; às vezes podemos apressar o envio.

P: Os alvos de BN podem ser usados em aplicações de alta temperatura?

A: Sim, esse é um dos pontos fortes do BN. Ele sublima em torno de 2.973°C, portanto, é estável em temperaturas que destruiriam a maioria dos outros materiais. Apenas certifique-se de que sua ligação possa suportar o calor; o índio derrete em torno de 157 °C, portanto, para operações com temperaturas realmente altas, talvez seja melhor usar uma fixação mecânica.

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