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  • ALVO DE SPUTTERING Dióxido de Silício (SiO2) ST0185

    • ALVO DE SPUTTERING Dióxido de Silício (SiO2) ST0185

    Número de catálogo. ST0185
    Composição SiO₂
    Número CAS 7631-86-9
    Pureza ≥99% (99,9% – 99,999% disponíveis mediante solicitação)
    Densidade 2,65 g/cm³
    Ponto de fusão 1.710 ℃
    Aparência Branco ou translúcido
    Forma Discos ou feitos sob medida
    Diâmetro 2", 3", 4", 5", 6" ou sob medida
    Espessura 0,125", 0,25" ou sob medida
    Tipo de título Cobre, índio, elastômero

    O alvo de pulverização de dióxido de silício (SiO₂) da Stanford Advanced Materials oferece alta pureza (≥99%) e excelente estabilidade térmica para processos de pulverização por RF. Ideal para fabricação de semicondutores, revestimentos ópticos e deposição de filmes finos.

    Produtos relacionados: Alvo de pulverização de silício (Si), alvo de pulverização de nitreto de silício (Si₃N₄), alvo de pulverização de óxido de titânio (TiO₂)

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    Silicon Dioxide (SiO2) Sputtering Target
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    ALVO DE SPUTTERING Dióxido de Silício (SiO2) ST0185
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    Composição
    SiO₂
    Número CAS
    7631-86-9
    Pureza
    ≥99% (99,9% – 99,999% disponíveis mediante solicitação)
    Densidade
    2,65 g/cm³
    Ponto de fusão
    1.710 ℃
    Aparência
    Branco ou translúcido
    Forma
    Discos ou feitos sob medida
    Diâmetro
    2", 3", 4", 5", 6" ou sob medida
    Espessura
    0,125", 0,25" ou sob medida
    Tipo de título
    Cobre, índio, elastômero
     
    ST0197 Alvo de pulverização de dióxido de titânio (TiO2)
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    Composição
    TiO₂
    Número CAS
    13463-67-7
    Pureza
    99,5% / 99,9% / 99,99% (personalizável)
    Forma
    Discos ou personalizados
    Diâmetro
    2", 3", 4", 5", 6" ou personalizado
    Espessura
    0,25", 0,125" ou personalizado
    Tipo de título
    Cobre ou personalizado
    Sinônimos
    Alvo de pulverização de dióxido de titânio, alvo de TiO2
     
    ST11168 Alvo de pulverização planar de óxido de alumínio, alvo de Al2O3
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    Composição
    Al₂O₃
    Pureza
    ≥99,99%
    Formulário
    Meta
    Forma
    Retangular
    Dimensões
    Personalizado

    FAQ

    P: Por que o SiO₂ deve ser pulverizado por sputtering com RF em vez de corrente contínua?

    R: O dióxido de silício é um material isolante. A pulverização por corrente contínua (DC) causaria o acúmulo de carga na superfície do alvo, levando à formação de arcos elétricos e a uma deposição instável. A pulverização por radiofrequência (RF) evita o acúmulo de carga, garantindo filmes finos estáveis e uniformes.

    P: Quais opções de pureza estão disponíveis para o alvo de pulverização de SiO₂?

    R: A pureza padrão é ≥99%. Purezas mais elevadas (99,9%, 99,99%, 99,995% até 99,999%) estão disponíveis mediante solicitação. Por favor, entre em contato com nossa equipe para informar suas necessidades específicas.

    P: O alvo de pulverização de dióxido de silício pode ser personalizado para se adequar à minha câmara?

    R: Sim. Oferecemos tamanhos e formatos personalizados (discos, placas, alvos giratórios) e diferentes tipos de fixação. Por favor, forneça o modelo do seu equipamento ou o desenho do alvo para que possamos apresentar um orçamento preciso.

    P: Qual é a diferença entre o alvo de SiO₂ e o alvo de Si para a deposição de óxido?

    R: Os alvos de SiO₂ depositam dióxido de silício diretamente. Os alvos de Si depositam silício puro, que precisa então ser oxidado em uma atmosfera reativa de oxigênio. Para a maioria das aplicações de revestimento de óxido, os alvos de SiO₂ oferecem melhor controle do processo e reprodutibilidade.

    P: Quais setores se beneficiam mais com o uso de alvos de pulverização de dióxido de silício?

    R: Fabricação de semicondutores, produção de componentes ópticos, indústria de telas (OLED), fabricação de células fotovoltaicas/solares e pesquisa em materiais avançados.

    P: O alvo de SiO₂ está disponível na versão rotativa (giratória)?

    R: Sim. Estão disponíveis alvos rotativos de SiO₂ para sistemas de revestimento de alto rendimento. Entre em contato informando o modelo e as dimensões do seu equipamento.

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      • Sim
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