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ST11181 Alvo de pulverização de cromo e alumínio, alvo CrAl

Número de catálogo. ST11181
Composição Cr, Al
Pureza ≥99,8%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Redondo, retangular, etc.
Dimensões Personalizado

O alvo de cromo e alumínio para pulverização catódica, o alvo CrAl, é um material de pulverização catódica projetado para processos precisos de deposição de filmes finos. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega técnicas avançadas de fusão de arco e processamento a vácuo para produzir alvos com composição elementar rigorosamente monitorada. O processo de produção inclui inspeções sistemáticas de microscopia eletrônica de varredura (SEM) para verificar a uniformidade da superfície e a consistência da composição, garantindo que o alvo atenda às rigorosas especificações técnicas para aplicações industriais.

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FAQ

Como a composição da liga afeta o desempenho do processo de pulverização catódica?

O equilíbrio específico de cromo e alumínio no alvo influencia as taxas de deposição e a uniformidade do filme. Uma composição controlada minimiza as variações durante a pulverização catódica, o que é crucial para obter uma cobertura consistente de etapas na microfabricação.

Que medidas devem ser tomadas ao integrar esse alvo em um sistema de deposição?

É importante garantir que os sistemas de resfriamento e montagem sejam compatíveis com as características térmicas do alvo. Os protocolos adequados de alinhamento e manuseio reduzem o risco de formação de arcos e mantêm a qualidade consistente do filme. Entre em contato conosco para obter diretrizes detalhadas de integração.

Como a qualidade do alvo é verificada antes do envio?

A verificação da qualidade envolve inspeções da morfologia da superfície usando SEM e análise de composição por meio de EDS. Esses testes confirmam a homogeneidade e a precisão da liga, garantindo que o alvo atenda aos requisitos técnicos para processos de deposição de alto desempenho.

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