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Alvos de pulverização catódica planar

Conheça os alvos de pulverização plana em metais, ligas, óxidos, nitretos, carbonetos e outros compostos. Estão disponíveis tamanhos, composições, graus de pureza e opções de placa de suporte personalizados.

Aplicação

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INTRODUÇÃO
Lista de produtos

Stanford Advanced Materials (SAM) fornece alvos planos para pulverização catódica destinados à deposição de filmes finos em aplicações nas áreas de semicondutores, telas, energia fotovoltaica, revestimentos ópticos, armazenamento de energia, pesquisa e revestimentos industriais.

Nossos alvos planos estão disponíveis em uma ampla variedade de materiais, incluindo metais puros, ligas, óxidos, nitretos, carbonetos, sulfetos e outros compostos cerâmicos. Alvos padrão e personalizados podem ser produzidos em configurações circulares, retangulares e outras específicas para cada aplicação.

Materiais para alvos planares

As categorias de materiais disponíveis incluem:

  • Alvos de metal puro, como alumínio, cobre, titânio, tântalo, molibdênio, tungstênio, níquel e metais preciosos
  • Alvos de liga, incluindo ligas binárias, ternárias, multicomponentes e de alta entropia
  • Alvos de óxido, incluindo ITO, IZO, óxido de alumínio, óxido de nióbio e outros óxidos simples ou complexos
  • Alvos de nitreto, carboneto, siliceto, sulfeto e outros compostos

A pureza, composição, densidade, estrutura granular e dimensões do material podem ser adaptadas para atender a requisitos específicos de deposição.

Formatos e personalização

Os alvos de pulverização planar podem ser fornecidos como:

  • Discos circulares
  • Placas retangulares
  • Alvos quadrados
  • Conjuntos de alvos compostos por várias peças
  • Alvos colados a placas de cobre ou outras placas de suporte
  • Alvos não colados

As opções de fabricação sob medida incluem dimensões, espessuras, tolerâncias, acabamentos de superfície, composições e configurações de colagem especificadas. O projeto adequado depende do sistema de pulverização, do material do alvo, das condições de potência e das propriedades exigidas do filme.

Aplicações de alvos de pulverização catódica planares

Os alvos planos são amplamente utilizados para depositar filmes finos funcionais e protetores para:

  • Dispositivos semicondutores e microeletrônicos
  • Monitores de tela plana e painéis sensíveis ao toque
  • Células solares e revestimentos fotovoltaicos
  • Revestimentos ópticos e decorativos
  • Componentes de armazenamento magnético e sensores
  • Pesquisa sobre baterias e eletrólitos sólidos
  • Revestimentos resistentes ao desgaste e à corrosão
  • Universidades, laboratórios e pesquisa e desenvolvimento de filmes finos

Por que escolher a SAM?

Stanford Advanced Materials (SAM) fornece alvos de pulverização catódica planos com composição controlada e precisão dimensional confiável. Atendemos tanto às necessidades em escala de pesquisa quanto a pedidos personalizados voltados para a produção, incluindo o desenvolvimento de alvos para materiais especializados e sistemas de deposição.

Ao solicitar um orçamento, informe o material do alvo, a pureza, as dimensões, a quantidade, os requisitos da placa de suporte e o sistema de pulverização a ser utilizado. Nossa equipe ajudará a avaliar as opções adequadas de fabricação e fixação para sua aplicação.

Perguntas frequentes

O que é um alvo de pulverização planar?

Um alvo de pulverização planar é um material de fonte plano instalado em um sistema de pulverização. Os íons gerados no plasma atingem a superfície do alvo e liberam átomos que são depositados como uma película fina sobre o substrato.

Quais formatos de alvos planos estão disponíveis?

As formas comuns incluem discos redondos, placas retangulares e alvos quadrados. Configurações segmentadas e outras personalizadas também podem ser produzidas para projetos específicos de cátodos.

Os alvos de pulverização planar podem ser fixados a placas de suporte?

Sim. Dependendo do material do alvo e das condições de operação, os alvos planos podem ser fornecidos fixados a uma placa de suporte de cobre ou a outra placa compatível. Também estão disponíveis alvos não fixados.

Quais informações são necessárias para um orçamento?

Por favor, forneça o material ou composição, a pureza exigida, as dimensões do alvo, a quantidade, as especificações da placa de suporte, a preferência de fixação e quaisquer requisitos de desenho ou tolerância aplicáveis.

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