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ST10712 Alvo de pulverização catódica de platina Alvo de Pt

Número de catálogo. ST10712
Material Platina
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Rotativo

Alvo de pulverização rotativa de platina O alvo de Pt é produzido com composição e microestrutura rigorosamente controladas para um desempenho consistente de pulverização. Fabricado pela Stanford Advanced Materials (SAM), o alvo é submetido a rigorosas análises metalúrgicas e ensaios químicos para confirmar a pureza e a uniformidade. A SAM emprega inspeção microscópica avançada e análise de composição para monitorar os parâmetros do material durante o processamento, garantindo que o alvo atenda aos requisitos exatos dos sistemas de deposição física de vapor.

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FAQ

Como a uniformidade microestrutural afeta o desempenho da pulverização catódica?

Uma microestrutura uniforme minimiza as variações locais na erosão durante o sputtering, o que ajuda a manter taxas consistentes de deposição de filme e reduz a geração de partículas. As inspeções metalúrgicas regulares garantem essa uniformidade, contribuindo para um desempenho previsível nas aplicações de deposição.

Que medidas podem ser tomadas para evitar a contaminação da superfície antes do sputtering?

Os procedimentos de limpeza pré-sputtering, incluindo limpeza ultrassônica e gravação por plasma, reduzem os riscos de contaminação. A manutenção de um ambiente de armazenamento controlado com baixa umidade e exposição mínima a partículas também ajuda a preservar a integridade da superfície do alvo até o uso.

Quais processos de controle de qualidade são aplicados durante a produção desse alvo?

O alvo é submetido a uma análise química abrangente e a um exame microscópico para verificar sua pureza e uniformidade. As medições de densidade e fase durante o processo são realizadas para confirmar que o material atende aos rigorosos critérios de composição e microestruturais essenciais para o desempenho ideal da pulverização catódica.

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