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ST11215 Alvo planar de carboneto de tântalo, alvo TaC

Número de catálogo. ST11215
Composição TaC
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

O alvo planar de carbeto de tântalo, alvo TaC, é fabricado usando sinterização reativa controlada para produzir uma microestrutura uniforme adequada para aplicações de pulverização. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega microscopia eletrônica e difração de raios X em seu processo de controle de qualidade para verificar as tolerâncias de composição e a estrutura de grãos. Essa metodologia ajuda a obter a consistência microestrutural necessária para a deposição reprodutível do filme.

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Tantalum Carbide Planar Target, TaC Target
Tantalum Carbide Planar Target, TaC Target
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Composição
TaC
Pureza
≥99,9%, ou personalizado
Formulário
Alvo
Forma
Retangular
Dimensões
Personalizado
 
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Pureza
99.9%
Número CAS
12031-66-2
Espessura
0,35-1 mm
Sinônimos
Pastilha de tantalato de lítio, pastilha de LiTaO3
 
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Pureza
99.99%
Dimensões
Personalizado
Orientação
(100), (110) e (111)
Sinônimos
Cristal único de tântalo, cristal único de Ta
 
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Dimensões
20 x 20 x 0,5 mm, 10 x 10 x 0,5 mm, 5 x 5 x 0,5 mm
Material
KTaO₃
Orientação
<100>, <110>, <111>
Método de crescimento
Método de Czochralski

FAQ

Como a microestrutura do alvo de TaC influencia seu desempenho de pulverização?

A microestrutura afeta diretamente o rendimento do sputter e a uniformidade da deposição do filme. Uma distribuição de grãos bem controlada permite uma erosão estável durante a pulverização, minimizando assim a geração de partículas e garantindo características previsíveis de filme fino. Para obter mais detalhes, entre em contato conosco.

Quais métodos de controle de qualidade são implementados durante a fabricação do TaC Target?

O controle de qualidade inclui microscopia eletrônica e análise de difração de raios X para verificar a integridade microestrutural e a tolerância da composição. Essas avaliações ajudam a detectar variações no tamanho e na densidade dos grãos, garantindo que o alvo atenda aos requisitos rigorosos dos processos de pulverização catódica. Para obter mais informações, entre em contato conosco.

Como a opção de dimensão personalizável afeta a compatibilidade com os sistemas de pulverização catódica?

As dimensões personalizáveis permitem que o alvo seja adaptado a geometrias específicas da câmara. Essa flexibilidade garante o alinhamento adequado com o equipamento de deposição, facilitando a erosão uniforme na superfície do alvo durante a pulverização catódica. Para obter especificações técnicas adicionais, entre em contato conosco.

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