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ST11217 Alvo planar de siliceto de titânio, alvo de TiSi2

Número de catálogo. ST11217
Composição TiSi2
Pureza ≥99,9%, ou personalizado
Formulário Alvo
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

O alvo planar de siliceto de titânio, TiSi2, é um alvo de sputtering projetado para aplicações de deposição de filmes finos. A Stanford Advanced Materials (SAM) emprega rigorosos controles de processo, incluindo microscopia eletrônica de varredura e análise de difração de raios X para supervisionar a consistência microestrutural. O alvo é produzido com uma composição controlada para minimizar defeitos e liberação de partículas, garantindo a erosão uniforme do material em toda a superfície durante a pulverização.

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Titanium Silicide Planar Target, TiSi2 Target
Titanium Silicide Planar Target, TiSi2 Target
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Composição
TiSi2
Pureza
≥99,9%, ou personalizado
Formulário
Alvo
Forma
Retangular
Dimensões
Personalizado
 
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Pureza
99.9%
Número CAS
12031-66-2
Espessura
0,35-1 mm
Sinônimos
Pastilha de tantalato de lítio, pastilha de LiTaO3
 
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Pureza
99.99%
Dimensões
Personalizado
Orientação
(100), (110) e (111)
Sinônimos
Cristal único de tântalo, cristal único de Ta
 
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Dimensões
20 x 20 x 0,5 mm, 10 x 10 x 0,5 mm, 5 x 5 x 0,5 mm
Material
KTaO₃
Orientação
<100>, <110>, <111>
Método de crescimento
Método de Czochralski

FAQ

Quais fatores afetam a uniformidade do filme ao usar um alvo planar de siliceto de titânio para pulverização?

A configuração plana e a microestrutura controlada contribuem para a erosão uniforme em toda a superfície do alvo. Isso minimiza a geração de partículas e garante a deposição consistente de filmes finos, desde que as condições de pulverização sejam bem reguladas.

Como a personalização das dimensões do alvo beneficia as aplicações de sputtering?

As dimensões personalizadas permitem a integração com vários sistemas de pulverização catódica, facilitando a densidade de potência e as configurações de resfriamento ideais. Essa personalização ajuda a obter uma deposição uniforme do filme e a ajustar os parâmetros do processo aos requisitos específicos do sistema.

Quais técnicas analíticas são usadas durante o controle de qualidade desses alvos?

O controle de qualidade envolve a avaliação da morfologia da superfície usando microscopia eletrônica de varredura e microscopia de força atômica. Essas técnicas verificam a integridade microestrutural e garantem o mínimo de defeitos, o que é fundamental para manter a consistência da deposição.

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