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ST11467 Alvo de silício de titânio, alvo de TiSi

Número de catálogo. ST11467
Composição TiSi
Forma Redondo, retangular, personalizado
Formulário Alvo
Pureza Ti+Si: ≥99%

O alvo de silício de titânio, TiSi, é produzido para processos de pulverização em aplicações de filmes finos. Fabricado pela Stanford Advanced Materials (SAM), ele apresenta uma composição uniforme de TiSi verificada por meio de imagens de SEM e profilometria a laser. A SAM utiliza testes rigorosos de lote e microanálise para minimizar contaminantes e garantir propriedades consistentes do material. O ambiente de processamento controlado dá suporte à reprodutibilidade essencial em técnicas avançadas de deposição.

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FAQ

Quais parâmetros do processo de deposição devem ser considerados ao usar esse alvo?

O processo de pulverização com esse alvo requer um controle cuidadoso da densidade de potência e da pressão da câmara. Os ajustes na potência de RF ou CC influenciam a uniformidade e a estequiometria do filme. O monitoramento da temperatura do substrato pode otimizar ainda mais a aderência do filme.

Como a microestrutura do alvo é verificada?

O alvo é submetido a imagens de SEM e perfilometria a laser para avaliar a uniformidade da superfície e detectar possíveis defeitos. Essas verificações ajudam a manter a consistência durante a pulverização e reduzem a contaminação por partículas no filme depositado.

O alvo pode ser personalizado para atender aos requisitos específicos do sistema de pulverização catódica?

Sim, estão disponíveis opções de personalização para tolerâncias de tamanho e usinagem. A personalização desses parâmetros garante a compatibilidade com vários sistemas de deposição e dá suporte à reprodutibilidade do processo. Para obter opções detalhadas de personalização, entre em contato conosco.

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