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ST11192 Alvo rotativo de óxido de índio-estanho, alvo rotativo de ITO

Número de catálogo. ST11192
Composição In₂O₃, SnO₂
Pureza ≥99,99% ou conforme especificação do cliente
Formulário Meta
Forma Tubular
Dimensões Personalizado

O alvo rotativo de óxido de índio e estanho, alvo de ITO, é fabricado usando uma mistura controlada de óxidos de índio e estanho para oferecer desempenho uniforme de pulverização. A Stanford Advanced Materials (SAM) utiliza avaliações de qualidade rigorosas, incluindo análise espectroscópica e verificações de rotina da homogeneidade do material. Seu processo enfatiza a reprodutibilidade e o controle rigoroso da composição para dar suporte à deposição precisa de filmes necessários para aplicações de semicondutores e optoeletrônicos.

Produtos relacionados: Alvos de pulverização de óxido de estanho de índio (ITO), Materiais de evaporação de óxido de estanho de índio (ITO)

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Composição
In₂O₃, SnO₂
Pureza
≥99,99% ou conforme especificação do cliente
Formulário
Meta
Forma
Tubular
Dimensões
Personalizado
 
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Dimensões
Alvos circulares Diâmetro 10-400 mm Espessura 2-28
Material
R04200 R04210
Número CAS
7440-03-1
Densidade
8,57 g/cm3
Formulário
Alvo
Pureza
≥99.9%
 
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Material
R4251 (Nb-1Zr) R4261 (Nb-1Zr)
Dimensões
Alvos circulares: diâmetro de 10 a 400 mm; espessura de 2 a 28 mm
Pureza
99,9% 99,95% 99,99%
 
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Dimensões
Diâmetro: 10-400 mm, ou sob medida
Material
Nb-10Hf
Formulário
Alvo, Disco

FAQ

Qual é o papel do design rotativo no desempenho da pulverização catódica?

O design rotativo minimiza o aquecimento localizado e a erosão do alvo, promovendo um consumo uniforme do material. Isso garante taxas de deposição estáveis e maior uniformidade do filme, fatores essenciais em aplicações como a fabricação de telas e células solares.

Como é verificada a composição do material durante a produção?

A composição é verificada por meio de técnicas espectrométricas e análises químicas entre lotes. Esses testes minimizam o desvio na proporção índio/estanho e garantem propriedades consistentes do alvo em condições de pulverização catódica de alta potência.

As dimensões personalizadas podem afetar a compatibilidade da instalação?

Sim, as dimensões personalizadas permitem a adaptação a diversos sistemas de pulverização catódica. Os clientes devem especificar os requisitos de seus equipamentos para garantir a compatibilidade com as câmaras de deposição e manter a consistência do processo. Para mais detalhes, entre em contato conosco.

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Brasil

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    • Other
    Diâmetro

    2''

    • 2''
    • 3''
    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • Outros
    • Other
    Espessura

    0,25''

    • 0,25''
    • 0,125''
    • Todos
    • Other
    Vinculação

    Sim

    • Sim
    • Não
    • Other

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