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Calculadora de material para deposição de filme fino

Estime o material fonte necessário para depositar um filme de 1 µm num ponto de um substrato plano diretamente acima de uma fonte de evaporação. Selecione o tipo de fonte, introduza a distância fonte-substrato e escolha um material ou introduza a sua densidade. Utilize esta calculadora para uma comparação inicial dos requisitos de material de evaporação na geometria de referência.

Fonte

Tem em conta a distribuição aproximada do penacho da fonte seleccionada.

Distância da fonte ao substrato cm

Distância de projecção da fonte ao ponto de interesse do substrato.

Material

Densidade do material kg/m³

Seleccione um material ou introduza manualmente a densidade em kg/m³.

Multiplicador

Dimensiona a massa necessária para um filme de 1 mícron (ex.: 2 = equivalente a 2 μm). O valor predefinido é 1.

Massa estimada —

Densidade utilizada —

Apenas estimativa. A massa é para um filme de 1 mícron num ponto directamente acima da fonte (depois × multiplicador). Não cobre a não uniformidade em áreas grandes, fontes deslocadas ou inclinadas, nem perdas de processo durante o arranque e a estabilização.

Como utilizar a calculadora de material de deposição

Selecione o tipo de fonte mostrado na calculadora.
Introduza a distância da fonte ao substrato em centímetros.
Selecione o material de deposição, ou introduza a sua densidade manualmente em kg/m³.
Deixe o multiplicador no valor base, a menos que pretenda aplicar um fator de escala separado.
Reveja a massa estimada de material fonte para a condição de deposição de 1 µm indicada.

Verifique cuidadosamente a unidade de densidade. 1 g/cm³ = 1.000 kg/m³; introduzir um valor na unidade errada altera substancialmente o resultado.

O que o resultado representa

A calculadora estima o material necessário para um filme de 1 µm num ponto diretamente acima da fonte. A seleção do tipo de fonte tem em conta uma distribuição aproximada do material que sai dessa fonte.

O resultado é útil para comparar materiais, definições da fonte e distâncias fonte-substrato segundo as hipóteses da calculadora. Não deve ser interpretado como a massa depositada uniformemente numa wafer, painel ou lote completo de peças.

Porque a geometria altera os requisitos de material

O material que sai de uma fonte de evaporação espalha-se pela câmara. Alterar a distância fonte-substrato afeta quanto material chega a um local dado. Um substrato afastado do ponto diretamente acima da fonte, ou montado em ângulo, pode receber uma espessura diferente.

O tamanho do substrato, a rotação, os acessórios, o sombreamento e a geometria da câmara também podem alterar a eficiência e a uniformidade da deposição. Utilize taxas de deposição medidas e mapas de espessura ao planear um processo de produção.

Tenha em conta as perdas de processo

A estimativa da calculadora refere-se à condição de deposição do filme indicada. Uma corrida real pode usar material adicional durante o aquecimento da fonte, a estabilização, a deposição de teste e o desligamento. Material residual também pode permanecer na fonte após a corrida.

Ao planear uma encomenda, separe a massa de deposição estimada do material total que espera carregar ou comprar. A Stanford Advanced Materials fornece materiais de evaporação em diferentes composições e formas para aplicações de filme fino.

Perguntas frequentes

A calculadora estima material para qualquer espessura de filme?

O resultado base é para um filme de 1 µm na geometria indicada. Não trate o resultado apresentado como uma estimativa automaticamente validada para outra espessura, a menos que aplique e verifique deliberadamente um método de escala adequado.

O resultado cobre todo o substrato?

Não. Descreve a massa estimada necessária para a espessura alvo no ponto diretamente acima da fonte. A espessura noutros pontos do substrato pode diferir.

Porque é que a calculadora pede a densidade do material?

O volume do filme depositado e a distribuição da fonte devem ser relacionados com uma massa de material. Materiais diferentes têm densidades diferentes, pelo que a massa estimada muda mesmo quando a espessura nominal é a mesma.

E se o meu material não estiver na lista?

Introduza a sua densidade manualmente em kg/m³, usando um valor adequado ao material que pretende depositar. Verifique o grau, a composição e a origem desse valor.

A massa calculada é a quantidade que devo carregar na fonte?

Não necessariamente. Os requisitos de carga também dependem da capacidade da fonte, do funcionamento estável, das perdas de arranque e da quantidade de material utilizável restante após uma corrida. Trate o resultado como uma estimativa de deposição para planeamento.

Tabela para conversão do tamanho das partículas

Calculadora de tamanho de metal para peso

Conversor de unidades de densidade

Conversor de unidades de comprimento

Conversor de unidades de massa/peso

Conversor de unidades de pressão

Conversor de unidades de temperatura

Conversor de unidades de volume

Calculadora de preenchimento de cadinho de evaporação

Calculadora de material de deposição de filme fino

Conversor de bitola de fio

Conversor de rugosidade superficial