Descrição dos elementos de aquecimento compostos PBN/PG
O nitreto de boro pirolítico é usado como substrato para o elemento de aquecimento PBN. O grafite pirolítico (PG) é colocado na superfície das placas de PBN pelo método CVD como condutor e aquecedor. Dependendo dos diferentes requisitos das aplicações, o elemento de aquecimento de PG pode ser novamente coberto por PBN ou simplesmente ficar aberto.
Como o PG e o PBN são extremamente puros (99,99% ou até mais) e muito estáveis em um vácuo ou em uma atmosfera inerte, os elementos de aquecimento compostos PBN/PG podem ser muito duráveis e manter a câmara limpa. Ele pode ser aquecido a 1600 ℃ em um tempo muito curto sem a emissão de nenhum componente de gás. Ele também tem boa resistência a ácidos e álcalis. Esses elementos de aquecimento são produtos ideais para a indústria de semicondutores e aplicações que exigem alta temperatura, alto vácuo e alta pureza.
Especificações dos elementos de aquecimento compostos PBN/PG
Diâmetro:
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0,5"~4", ou personalizado
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Densidade a granel
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2,0-2,19g/cm3
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Temperatura máxima de trabalho (vácuo) Temperatura de trabalho (vácuo)
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2400℃
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Resistividade de volume (Ω-cm)
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3.11*1011
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Resistência à flexão (Mpa)
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243.63
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Condutividade térmica (W/M-k)
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43-60
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Serviço personalizado:
Forma
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Wafer
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Retângulo
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Tubo
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Tamanho (mm)
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φ380 MAX
1.0-2.5
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265*265 MAX
1.0-2.5
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φ265 MAX
400 MAX Comprimento
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Amostra
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Aplicações dos elementos de aquecimento compostos PBN/PG
- Aquecedor de substrato de semicondutor (nas áreas de MBE, MOCVD, revestimento por pulverização catódica, CVC, etc.)
- Aquecimento de substrato de supercondutor.
- Aquecimento de amostras de microscópio eletrônico.
- Aquecimento de evaporação de metal.
Embalagem dos elementos de aquecimento compostos PBN/PG
Nossos elementos de aquecimento compostos de PBN/PG são cuidadosamente manuseados durante o armazenamento e o transporte para preservar a qualidade do nosso produto em sua condição original.
25 kg/saco