Descontinuado IF5320 (Descontinuado) Caldeira CSS de Duas Zonas 650C para Processamento Térmico Rápido OTF-1200X-RTP-II

Estrutura do Forno & Câmera de Vácuo

• Aquecedores duplos, dois controladores de temperatura e medidores de fluxo de gás de dois canais estão integrados em uma estrutura móvel de alumínio.
• A câmara é feita de tubo de quartzo fundido de alta pureza.
• Tamanho do tubo de quartzo: 11" OD/10,8" ID x 9" H.
• Feltro de fibra de carbono como isolamento térmico.
• As flanges de vácuo são feitas de aço inoxidável 316.
• Dimensões gerais: 850(L) × 745(W) × 1615(H) mm.

Flanges de Vácuo

• A flange superior com um porta-vácuo KFD-25 e dois pontos de saída de gás (tubo de 1/4" necessário) pode deslizar para cima ou para baixo manualmente para carregar e descarregar substrato e material evaporado facilmente.
• A flange inferior possui um porta-vácuo KFD-25 com duas entradas de gás (tubo de 1/4" necessário) e válvulas de agulha.
• A flange é selada por anéis o-rings de silicone duplo e pode alcançar pressão de vácuo máxima de 10E-2 Torr por uma bomba mecânica de qualidade e 10E-5 Torr por uma bomba molecular.
• Um manômetro digital anticorrosão de precisão está incluído no pacote padrão.

Aquecedor e Suporte para Amostra

• Dois lâmpadas de infravermelho de onda curta como elementos de aquecimento para aquecimento rápido.
• A distância entre os dois aquecedores é ajustável de 10 a 50 mm.
• Os aquecedores são feitos de aço inoxidável com jaqueta fria de água para reduzir a radiação de calor e permitir resfriamento rápido.
• O suporte para wafer redondo de 3" está embutido no aquecedor superior para carregar o substrato.
• Uma placa de AlN de alta condutividade térmica (3"Diâmetro x 0,5mm de espessura) está incluída, que deve ser colocada na parte de trás do substrato para aquecimento uniforme.
• Uma placa de grafite de 3" pode ser utilizada alternativamente com a placa de AIN.
• Substituição do aquecedor de luz halógena está disponível por um custo adicional.

Controlador de Temperatura

• Dois controladores de temperatura digitais de precisão com 30 segmentos programáveis para controlar independentemente os aquecedores superior e inferior.
• Cada controlador possui uma função de autotune PID para proteger os aquecedores contra superaquecimento e uma função de alarme para evitar superaquecimento e quebra do termopar.
• Interface de comunicação com PC e software está instalado.

Temperatura de Trabalho

• Temperatura máxima para cada aquecedor: ≤ 650℃.
• A diferença de temperatura máxima entre os dois aquecedores: ≤ 300℃ dependendo do espaçamento entre os dois aquecedores.

Taxa de Aquecimento & Resfriamento

• Aquecimento: < 8℃/s (aquecendo apenas um aquecedor).
• Resfriamento: < 10℃/s (600 - 100℃) máximo.

Termopar

• Dois termopares tipo K (expostos) estão instalados nos aquecedores superior e inferior separadamente.

Voltagem de Trabalho

• 208 - 240VAC, monofásico, disjuntor de ar de 20A.

Requisitos de Potência

• 2200W no total (1100W para cada aquecedor).

Garantia

• Um ano limitado com suporte vitalício (peças consumíveis como tubos de quartzo e lâmpadas de aquecimento não são cobertas pela garantia).

Conformidade

• Certificado CE.