Forno de Tubo a 1700C com Sistema de Alta Vácuo e Misturador de Gás MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Descrição
Forno de Tubo a 1700C com Sistema de Alta Vácuo e Misturador de Gás MFC GSL-1700X-4-HVC-LD é um forno de tubo de alumina de zona única com diâmetro de 60 mm, apresentando um sistema de bomba de alta vácuo capaz de atingir até 10^-5 torr. É equipado com controladores de fluxo de massa digitais de precisão de 2 canais, permitindo o controle preciso de dois tipos de gases para processos de Deposição Química de Vapor (CVD) ou difusão. Este forno pode operar em temperaturas de até 1600 °C, tornando-o adequado para aplicações de alta temperatura que requerem atmosfera controlada e gerenciamento preciso de gás.
Forno de Tubo a 1700C com Sistema de Alta Vácuo e Misturador de Gás MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Especificações
Série GSL-1700X
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Estrutura do Forno
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- Revestimento de Aço de Dupla Camada com Resfriamento a Ar: Proporciona isolamento robusto e integridade estrutural, garantindo operação segura.
- Ventiladores de Resfriamento Duplos: Mantém a temperatura da caixa abaixo de 55°C, aumentando a confiabilidade e longevidade.
- Câmara Refratária de Alumina de Alta Pureza: Garante estabilidade térmica e resistência a altas temperaturas, ideal para aplicações exigentes.
- Carro Móvel com Quatro Rodas: Facilita a mobilidade e o posicionamento dentro do espaço de trabalho, aumentando a flexibilidade.
- Sistema de Vácuo e Mistura de Gás Pronto para Uso: Inclui flange de vácuo, manômetro, válvulas, tubulações e uma bomba de alta vácuo para configuração e operação imediata, garantindo conveniência e eficiência.
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Tubo de Processamento
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Material: Alumina de Alta Pureza
Um tubo de alumina de 60 mm de diâmetro externo (EQ-TA-60D-M1000) está incluído com o forno.
O forno também pode ser personalizado para se adequar ao tubo de alumina de 50 mm ou 80 mm de diâmetro externo com custo adicional, entre em contato conosco para mais informações.
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Elementos de Aquecimento
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8 pcs elemento de aquecimento de MoSi2 grau 1800°C
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Potência
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AC 208-240V Monofásico, 50/60Hz
6KW
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Temperatura de Trabalho
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- Temp. Máx.: 1650°C (1 hr); 1600°C (contínua)
- Taxa de Aquecimento: ≤5°C/min
- Precisão da Temp.: ±1.0°C
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Comprimento da Zona de Aquecimento
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Comprimento da zona de aquecimento: 457 mm (18")
Comprimento da Zona de Temperatura Constante: 150 mm (6") (+/-1°C)
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Controle de Temperatura
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- Controle automático PID via resistor de ângulo de fase com limitação de corrente com 30 segmentos programáveis.
- Precisão de temperatura: ±1°C
- Termopar: Tipo B embutido no forno
- Porta de Comunicações RS485.
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Vedação de Vácuo
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Um par de flanges de vácuo de aço inoxidável com:
- um manômetro mecânico de vácuo
- duas válvulas de agulha
- um conector KF-25 e adaptador KF-25 para KF-40 para a estação de alta vácuo.
- um conector de tubo Swagelok de 1/4"
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Dimensões
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550 x 380 x 520 mm
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Estação de Alta Vácuo
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Potência
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100~110W
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Voltagem Nominal
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AC 208-240V Monofásico, 50/60Hz
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Dimensão
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600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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Estrutura
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Tamanho do carro móvel: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
Capacidade Máx.: 600 Lbs no topo
Painel de Controle da Bomba Molecular: LCD digital
Internamente: Bomba de vácuo
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Painel de Controle
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Operação com um botão - a bomba de diafragma e a bomba turbo iniciarão após pressionar o botão "iniciar".
Velocidade de rotação controlada pelo sistema - o controlador controlará a velocidade da rotação da turbina de acordo com o nível de vácuo e a taxa de vazamento da câmara de reação.
Auto-proteção - o sistema protegerá a bomba de danos por superaquecimento e sobrecorrente se a taxa de vazamento da câmara de reação for muito alta para atingir alto vácuo.
Tela LCD - interface de verificação de parâmetros de dupla linha facilita a operação.
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Taxa de Fluxo de Volume
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Nitrogênio N2 33 L/s
Hélio He 39 L/s (2340L/minuto)
Hidrogênio H2 32 L/s
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Faixa de Trabalho
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressão Última
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<1E-8 mbar (sem vazamento)
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Controle de Gás de Fluxo em Massa
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Estrutura
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Feita de válvula de aço inoxidável 316
Tanque de mistura de gás: Φ80X120mm
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
Painel de controle de tela sensível ao toque colorido de 6" para fácil configuração de parâmetros.
Controle pela Tela Sensível e PC alternável.
A faixa de controle de taxa de fluxo e o número de rotas de gás estão disponíveis para personalização. Entre em contato conosco para informações detalhadas.
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Potência
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23W por canal
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Voltagem Nominal
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AC 220V/50Hz Monofásico
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Notas e Garantia
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Notas de Aplicação
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As pressões de vácuo podem ser utilizadas em segurança apenas até 1500°C para tubos de alumina
Os fornos de tubo com tubos de alumina são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0.12 MPa (pressão absoluta)
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Garantia
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Garantia limitada de um ano (partes consumíveis como tubos de processamento, o-rings e elementos de aquecimento não estão cobertos pela garantia, por favor, solicite as reposições nos produtos relacionados abaixo.)
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Conformidade
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- Certificado CE
- Certificação NRTL(UL61010) ou CSA disponível a custo adicional.
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Dimensões de Envio
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Duplas caixas em um palete plástico: 45x45x35/caixa
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Avisos
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- Os fornos de tubo com tubos de alumina são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0.02 MPa/ 3 PSI
- Atenção: Um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para operação segura.
- Nunca aqueça o forno enquanto a válvula de liberação de gás estiver fechada e uma condição de pressão positiva existir dentro da câmara do forno. O manômetro deve ser usado para monitorar de perto a condição da câmara a todo momento durante o processo de aquecimento; por favor, abra a válvula de liberação de gás imediatamente quando a pressão da câmara atingir acima de 3 PSI para evitar danos imprevistos.
- A taxa de fluxo para gases deve ser limitada a < 200 SCCM ( ou 200ml/min )
- As pressões de vácuo podem ser usadas em segurança apenas até 1500°C
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Forno de Tubo a 1700C com Sistema de Alta Vácuo e Misturador de Gás MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Aplicações
- Deposição Química de Vapor (CVD):
Permite a deposição de filmes finos e revestimentos em substratos com atmosferas gasosas controladas.
Utilizado na fabricação de semicondutores, revestimento de superfícies e síntese de nanomateriais.
Facilita o movimento controlado de átomos ou moléculas dentro de materiais sólidos.
Essencial para dopagem de materiais semicondutores e aprimoramento de propriedades dos materiais.
- Recocção e Sinterização a Alta Temperatura:
Ideal para processos de recocção para melhorar a cristalinidade do material e eliminar defeitos.
Suporta a sinterização de cerâmicas e metais para densificação e propriedades mecânicas aprimoradas.
- Pesquisa e Desenvolvimento:
Proporciona um ambiente controlado para estudar o comportamento e as propriedades dos materiais em altas temperaturas.
Essencial para explorar novos materiais e processos em laboratórios de pesquisa.
Forno de Tubo a 1700C com Sistema de Alta Vácuo e Misturador de Gás MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Embalagem
Nosso Forno de Tubo a 1700C com Sistema de Alta Vácuo e Misturador de Gás MFC GSL-1700X-4-HVC-LD é manipulado com cuidado durante o armazenamento e transporte para preservar a qualidade de nosso produto em sua condição original.
Especificação
GSL-1700X Série Forno de Tubo
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Estrutura do Forno
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- Revestimento de Aço em Dois Níveis com Resfriamento por Ar: Proporciona isolamento e integridade estrutural, garantindo operação segura.
- Dois Ventiladores de Resfriamento: Mantém a temperatura do revestimento abaixo de 55°C, aumentando a confiabilidade e longevidade.
- Câmara Refratária de Alumina de Alta Pureza: Assegura estabilidade térmica e resistência a altas temperaturas, ideal para aplicações exigentes.
- Carro Móvel com Quatro Rodas: Facilita a mobilidade e posicionamento dentro do espaço de trabalho, aumentando a flexibilidade.
- Sistema de Vácuo e Mistura de Gases Pronto para Uso: Inclui flange de vácuo, manômetro, válvulas, tubos e uma bomba de alta pressão para configuração e operação imediatas, garantindo conveniência e eficiência.
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Tubo de Processamento
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Material: Alumina de Alta Pureza
Um tubo de alumina processadora com 60mm de diâmetro externo (EQ-TA-60D-M1000) está incluído com o forno.
O forno também pode ser personalizado para se adequar a tubos de alumina de 50mm ou 80mm de diâmetro externo por um custo adicional, entre em contato para mais informações.
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Elementos de Aquecimento
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8 elementos de aquecimento MoSi2 grau 1800°C
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Potência
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AC 208-240V Monofásico, 50/60Hz
6KW
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Temperatura de Trabalho
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- Temp. Máxima: 1650℃ (1 hr); 1600℃ (contínuo)
- Taxa de Aquecimento: ≤5℃/min
- Precisão da Temp.: ±1.0℃
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Comprimento da Zona de Aquecimento
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Comprimento da zona de aquecimento: 457 mm (18")
Comprimento da Zona de Temperatura Constante: 150 mm (6") (+/-1°C)
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Controle de Temperatura
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- Controle automático PID via limitação de corrente de fase do resistor com 30 segmentos programáveis.
- Precisão de temperatura: ±1°C
- Termopar: tipo B embutido dentro do forno
- Porta de Comunicação RS485.
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Vedação de Vácuo
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Um par de flanges de vácuo em aço inoxidável com:
- um manômetro mecânico
- duas válvulas de agulha
- uma conexão KF-25 e adaptador KF-25 para KF-40 para a estação de alto vácuo.
- um conector de tubo Swagelok de 1/4"
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Dimensões
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550 x 380 x 520 mm
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Estação de Alto Vácuo
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Potência
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100~110W
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Tensão Nominal
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AC 208-240V Monofásico, 50/60Hz
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Dimensão
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600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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Estrutura
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Tamanho do carro móvel: 600 (L) x 600 (W) x 700 (H), mm
Capacidade Máxima: 600 lbs no topo
Painel de Controle da Bomba Molecular: LCD digital
Interno: Bomba de vácuo
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Painel de Controle
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Operação com um botão - a bomba de diafragma e a bomba turbo iniciarão após pressionar o botão "iniciar".
Velocidade controlada pelo sistema - o controlador controlará a velocidade da turbina subindo e descendo de acordo com o nível de vácuo e taxa de vazamento da câmara de reação.
Autoproteção - o sistema protegerá a bomba contra danos por superaquecimento e sobrecorrente se a taxa de vazamento da câmara de reação for muito alta para atingir alto vácuo.
Tela LCD - interface de verificação de parâmetros de linhas duplas para facilitar o trabalho.
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Taxa de Fluxo de Volume
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Nitrogênio N2 33 L/s
Hélio He 39 L/s (2340L/min)
Hidrogênio H2 32 L/s
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Faixa de Trabalho
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De 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressão Final
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<1E-8 mbar (sem vazamentos)
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Controle de Gás de Fluxo em Massa
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Estrutura
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Feito de válvula de aço inoxidável 316
Tanque de mistura de gás: Φ80X120mm
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
Painel de controle com tela sensível ao toque de 6" para facilitar a configuração de parâmetros.
Controle por toque e remoto via PC.
A faixa de controle de taxa de fluxo e o número de rotas de gás estão disponíveis para personalização. Entre em contato para informações detalhadas.
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Potência
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23W por canal
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Tensão Nominal
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AC 220V/50Hz Monofásico
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Notas e Garantia
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Notas de Aplicação
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As pressões de vácuo podem ser usadas com segurança apenas até 1500°C para tubos de alumina.
Os fornos de tubo com tubos de alumina são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0,12 MPa (pressão absoluta).
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Garantia
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Garantia limitada de um ano (peças consumíveis como tubos de processamento, o-rings e elementos de aquecimento não estão cobertos pela garantia, solicite as substituições entre os produtos relacionados abaixo).
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Conformidade
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- Certificação CE
- Certificação NRTL(UL61010) ou CSA disponível por custo adicional.
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Dimensões de Transporte
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Duas caixas em um palete de plástico: 45x45x35/caixa
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Avisos
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- Os fornos de tubo com tubos de alumina são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão < 0,02 MPa/ 3 PSI.
- Atenção: Um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 PSI para operação segura.
- Nunca aqueça o forno enquanto a válvula de liberação de gás estiver fechada e uma condição de pressão positiva existir dentro da câmara do forno. O manômetro deve ser usado para monitorar de perto a condição da câmara em todos os momentos durante o processo de aquecimento; abra a válvula de liberação de gás imediatamente uma vez que a pressão da câmara ultrapasse 3 PSI para evitar danos imprevisíveis.
- A taxa de fluxo para gases deve ser limitada a 200 SCCM (ou 200ml/min).
- As pressões de vácuo podem ser usadas com segurança apenas até 1500°C.
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