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ST11168 Alvo de pulverização planar de óxido de alumínio, alvo de Al2O3

Número de catálogo. ST11168
Composição Al₂O₃
Pureza ≥99,99%
Formulário Meta
Forma Retangular
Dimensões Personalizado

O alvo de pulverização planar de óxido de alumínio (Al₂O₃) é fabricado com alumina de alta pureza processada sob condições controladas. Stanford Advanced Materials (SAM) emprega protocolos de inspeção detalhados, incluindo difração de raios X e perfilometria de superfície, para verificar a planicidade e a pureza. O processo de produção monitora rigorosamente a consistência da composição e a integridade microestrutural, garantindo que o alvo atenda aos rigorosos requisitos das aplicações de pulverização catódica.

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Aluminum Oxide Planar Sputtering Target, Al2O3 Target
Aluminum Oxide Planar Sputtering Target, Al2O3 Target
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Composição
Al₂O₃
Pureza
≥99,99%
Formulário
Meta
Forma
Retangular
Dimensões
Personalizado
 
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Dimensões
Alvos circulares Diâmetro 10-400 mm Espessura 2-28
Material
R04200 R04210
Número CAS
7440-03-1
Densidade
8,57 g/cm3
Formulário
Alvo
Pureza
≥99.9%
 
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Material
R4251 (Nb-1Zr) R4261 (Nb-1Zr)
Dimensões
Alvos circulares: diâmetro de 10 a 400 mm; espessura de 2 a 28 mm
Pureza
99,9% 99,95% 99,99%
 
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Dimensões
Diâmetro: 10-400 mm, ou sob medida
Material
Nb-10Hf
Formulário
Alvo, Disco

FAQ

Como a configuração plana afeta a uniformidade do filme em aplicações de pulverização catódica?

A configuração plana aumenta a uniformidade do filme ao manter uma distância consistente entre o alvo e o substrato. Isso minimiza as variações na taxa de deposição, o que é crucial na aplicação de revestimentos na fabricação de semicondutores e dispositivos ópticos.

Quais métodos de garantia de qualidade são aplicados ao alvo de óxido de alumínio?

A peça é submetida a uma inspeção dimensional por meio de perfilometria a laser e a uma análise de composição por fluorescência de raios X. Esses métodos garantem que a microestrutura e a composição química atendam aos rigorosos requisitos das aplicações de pulverização catódica. Entre em contato conosco para obter mais detalhes.

É possível personalizar as dimensões do alvo de pulverização para um equipamento específico?

Sim, as dimensões são personalizáveis para se adequarem a diversos sistemas de pulverização catódica. A personalização garante a integração adequada com seu equipamento de deposição, otimizando assim a eficiência do processo e a consistência da deposição do filme.

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Brasil

    Pureza

    99.9%

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    • 99.99%
    • 99.999%
    • Other
    Diâmetro

    2''

    • 2''
    • 3''
    • 4''
    • 5''
    • 6''
    • Outros
    • Other
    Espessura

    0,25''

    • 0,25''
    • 0,125''
    • Todos
    • Other
    Vinculação

    Sim

    • Sim
    • Não
    • Other

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